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高低溫真空探針臺(tái)

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高低溫真空探針臺(tái)KT-Z160T-RL，真空高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)，使用國(guó)際上*溫度控制系統(tǒng)和傳感器，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度），溫度穩(wěn)定性可達(dá)0.1K。

詳細(xì)介紹

高低溫真空探針臺(tái)KT-Z160T-RL

高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測(cè)試而無(wú)凝露或結(jié)霜。對(duì)于選用了入門(mén)級(jí)配置的用戶(hù)，可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度，從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對(duì)于真空度有更高要求的用戶(hù)，可選用分子泵組對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺(tái)系統(tǒng)可達(dá)10^-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿(mǎn)足測(cè)試要求。

為了減少泵組的振動(dòng)，我們還專(zhuān)門(mén)為用戶(hù)設(shè)計(jì)了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。

高低溫真空探針臺(tái)KT-Z160T-RL參數(shù)

真空腔體
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
上蓋開(kāi)啟	鉸鏈側(cè)開(kāi)
加熱臺(tái)材質(zhì)	304不銹鋼
內(nèi)腔體尺寸	φ160x90mm
觀(guān)察窗尺寸	Φ70mm
加熱臺(tái)尺寸	φ60mm
觀(guān)察窗熱臺(tái)間距	75mm
加熱臺(tái)溫度	﹣196~350℃
加熱臺(tái)溫控誤差	±1℃
真空度	機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓	≤0.1MPa
真空抽氣口	KF25真空法蘭
氣體進(jìn)氣口	3mm-6mm卡套接頭
電信號(hào)接頭	SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
探針數(shù)量	4探針
探針材質(zhì)	鎢針
探針尖	10μm
探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.01mm
Y軸移動(dòng)行程	13mm ±12.5mm
Y軸控制精度	≤0.01mm
Z軸移動(dòng)行程	13mm ±12.5mm
Z軸控制精度	≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類(lèi)別	物鏡
物鏡倍數(shù)	0.7-4.5倍
工作間距	90mm
相機(jī)	sony 高清
像素	1920※1080像素
圖像接口	VGA
LED可調(diào)光源	有
顯示屏	8寸
放大倍數(shù)	19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm