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RCU10實(shí)時(shí)正交補(bǔ)償器

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更新時(shí)間：2024-05-24 07:10:15瀏覽次數(shù)：85次

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用于實(shí)時(shí)正交位置反饋的補(bǔ)償系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

用于實(shí)時(shí)正交位置反饋的補(bǔ)償系統(tǒng)。

在非真空環(huán)境下使用任何激光尺系統(tǒng)時(shí)，都要求某些形式的環(huán)境補(bǔ)償來(lái)維持各種環(huán)境條件下的精度。干涉測(cè)量的原理取決于激光的波長(zhǎng)，該值會(huì)根據(jù)傳播激光的空氣的折射率而產(chǎn)生微小變化。

±1 °C的氣溫變化、±3.3 mbar的氣壓變化或者50%相對(duì)濕度變化，這些環(huán)境變化會(huì)使激光波長(zhǎng)和測(cè)量結(jié)果之間產(chǎn)生1 ppm的差異。

RCU10單元的輸入和輸出參數(shù)使用雷尼紹配置軟件 (RCU-CS) 進(jìn)行配置?？赏ㄟ^(guò)此頁(yè)面底部的鏈接進(jìn)行下載。

定義RCU10系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮以下選項(xiàng)：

RCU10補(bǔ)償單元可附帶或不附帶內(nèi)置壓力傳感器（分別為RCU10-PX-XX和RCU10-XX-XX）
對(duì)于多軸系統(tǒng)，最多可通過(guò)高速串行通信鏈接連接6個(gè)RCU10。如果作為多軸系統(tǒng)的一部分，僅需一個(gè)RCU10-PX-XX。
空氣溫度傳感器

材料溫度傳感器

特性	折射率補(bǔ)償材料膨脹補(bǔ)償
精度	±1 ppm*
數(shù)據(jù)格式	數(shù)字 - RS422正交信號(hào) 模擬 - 1 Vpp正弦/余弦信號(hào)
分辨率	數(shù)字 - 可變化至10 nm 模擬 - 可變化至20 µm
速度	可達(dá)5 m/s

* 數(shù)字輸出狀態(tài)下，須最多加上3個(gè)輸入脈沖數(shù)和1個(gè)輸出脈沖數(shù)；在某些模擬輸出狀態(tài)下，須再加上速度跟隨誤差。

還提供大量可選附件，與RCU10實(shí)時(shí)正交補(bǔ)償單元配合使用。