水平式真空式等離子清洗機是一種專門設(shè)計用于在水平方向上對材料進行處理的設(shè)備，它結(jié)合了真空技術(shù)和等離子體技術(shù)，主要用于精密材料的表面清洗、活化或涂層前預(yù)處理。這種設(shè)備的主要組成部分包括以下幾個關(guān)鍵系統(tǒng)：
1. 真空系統(tǒng)：
- 真空腔體：這是等離子清洗機的核心部分，通常由高質(zhì)量的金屬或耐腐蝕材料制成，確保真空密封和輻射防護。
- 真空泵：用于抽取空氣，創(chuàng)造真空環(huán)境，常見的有渦輪分子泵、旋片泵、油擴散泵等。
- 壓強感應(yīng)器：用于測量和監(jiān)控腔體內(nèi)的真空度。
- 閥門：控制氣體進出和維持腔體壓力。
- 密封件：確保真空腔體的密封性，防止漏氣。
2. 放電系統(tǒng)：
- 放電腔體：等離子體生成的場所。
- 電極結(jié)構(gòu)：通常由平行極板組成，用于產(chǎn)生電場，引發(fā)氣體放電形成等離子體。
- 工件支座：用于固定和定位待處理的工件，有時位于下電極上。
- 電源及匹配網(wǎng)絡(luò)：提供能量給電極，產(chǎn)生等離子體，通常使用射頻(RF)電源，具有高可靠性和穩(wěn)定性。
3. 氣體供給系統(tǒng)：
- 氣管：用于輸送反應(yīng)氣體至放電腔體。
- 流量計：精確控制氣體的流量，確保等離子體的穩(wěn)定生成。
- 閥門：控制氣體的開關(guān)和調(diào)節(jié)流量。
4. 控制系統(tǒng)：
- 電源控制：控制電源輸出功率，確保等離子體產(chǎn)生的穩(wěn)定性和效率。
- 放電時間控制：設(shè)定和監(jiān)控等離子體處理的時間。
- 氣壓和流量控制：調(diào)整氣體的壓力和流量，以達到的清洗效果。
- 溫度監(jiān)控：監(jiān)測設(shè)備內(nèi)部的溫度，防止過熱。
- 用戶界面：可能包括觸摸屏或計算機界面，用于設(shè)置參數(shù)和監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)。
5. 安全和保護系統(tǒng)：
- 過溫保護：防止設(shè)備因過熱而損壞。
- 反射功率保護：當負載不匹配時，保護電源免受反射功率的損害。
這些組成部分共同協(xié)作，使得水平式真空式等離子清洗機能夠精確、有效地對材料表面進行清洗和處理。
