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Park NX20 300mm

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上海明古嘉電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

ParkNX20 300mm 可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具 Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡，支持300mm300mm全程機(jī)動化。新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控

詳細(xì)介紹

Park NX20 300mm

可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具

Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機(jī)動化。新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)，可有效地檢測整個(gè)300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動XY工作臺，但Park的創(chuàng)新性振動隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。

經(jīng)檢驗(yàn)的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調(diào)整的需求，并使Park NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。通過我們的“批處理模式(Program Mode)”界面，用戶可以在整個(gè)300mmx300mm區(qū)域輕松實(shí)現(xiàn)可靠與可重復(fù)的順序多站點(diǎn)測量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的

專為大樣品晶圓檢測而建

NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計(jì)，可達(dá)到大樣品的測量。整個(gè)300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個(gè)全新的自動化測量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡便、更精確地開展工作。

靈活的300mm樣品吸盤

Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。

300mm XY軸工作臺

機(jī)動化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動原子力顯微鏡的測量位置。

nx20_300mm

NX20 支持300mm樣品臺，性能已被證實(shí)

因其的易用性和自動化以及不受影響的精度，NX20已是FA、QA和QC工程師的。憑借其支持300mm電動XY軸工作臺的擴(kuò)大平臺，NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以的精度檢測更大的樣品。

nx20-300mm-high-accuracy

Park SmartScan™讓精確測量更為簡單

Park NX20配備了我們的SmartScan操作系統(tǒng)，使其成為市場上最易于使用的原子力顯微鏡之一。通過直觀且極為強(qiáng)大的界面，即便是未經(jīng)培訓(xùn)的用戶無需協(xié)助也可快速掃描大樣品。這使高級工程師能夠集中精力解決更大的問題和開發(fā)更好的解決方案。

nx20-smartscan

a在完整300mm晶圓上掃描多個(gè)位點(diǎn)

SmartScan™允許用戶從位點(diǎn)到位點(diǎn)和樣品到樣品的層面上，借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式，進(jìn)行自動順序測量與表面形態(tài)、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時(shí)的用戶便利性和生產(chǎn)效率。

b強(qiáng)大的工作創(chuàng)建功能

格式創(chuàng)建流程簡單，允許工程師設(shè)置每個(gè)批次的位置、名稱、數(shù)量和類型所定義的預(yù)設(shè)。

針對廣泛應(yīng)用性進(jìn)行優(yōu)化

NX20 300mm為眾多應(yīng)用提供自動格式的原子力顯微鏡測量，為納米級的樣品提供高級測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇。

optimized-wide-range

Specification

Scanner

XY scanner: 100 μm × 100 μm
Z scanner: 15 μm, (30 μm optional)*

Stage

XY travel range: 300 mm x 300 mm
Z travel range: 25 mm
Focus travel range: 8 mm
Precision encoder for all axes* (optional)

Electronics

ADC: 18 channels
4 high-speed ADC channels (50 MSPS)
24-bit ADCs for X, Y, and Z position sensor

DAC: 12 channels
2 high-speed DAC channels (50 MSPS)
20-bit DACs for X, Y, and Z positioning
3 channels of integrated lock-in amplifier

Vision

Direct on-axis vision of sample and cantilever
Coupled with 10x objective lens (20x optional)*
Field-of-view: 480 x 360 μm
CCD: up to 5Mpixel

Sample Mount
& Size

Vaccum groove holder:
100, 150, 200, 300 mm wafers, small sample Magnetic sample holder Up to 20 mm thickness

Physical
Information

Dimension:
1220 mm (W) × 1170 mm (D) × 1470 mm (H)

Software
Park SmartScan

AFM system control and data acquisition software
Auto mode, Manual mode
Program mode for recipe-automated, sequential multiple-site measurement AFM operation