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OX400氧化鋯氧分析儀

OX400-5-N-T-E-H、OX400-5-A-T-E-H、OX400-5-N-R-E-H、OX400-3-A-T-E-H

一、特性：

1、技術(shù)特性：
      重復(fù)性：±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%）
      線性：±2%F.S.；±3%F.S.（0~100ppm或更低）
      響應(yīng)時(shí)間：90%響應(yīng)，10秒內(nèi)（0~1%或更高），30秒內(nèi)（小于0~1%）
      漂移：±2%F.S./周

2、使用壽命長(zhǎng)，響應(yīng)速度快
由于使用了橫河電機(jī)的新型薄膜沉積技術(shù)，傳感器的壽命周期提高了三倍

3、圓柱形傳感器設(shè)計(jì)便于置換被測(cè)氣體，確保高速響應(yīng)

4、高性能和高可靠性
即使在低氧濃度下，仍具有*的精度和線性

5、在不同應(yīng)用中，可選擇泵式或抽提采樣方式

6、內(nèi)置功能和多種自診斷功能
自帶多選擇器，自動(dòng)量程，特定量程以及泵開/關(guān)功能

提供多種自診斷功能，以檢測(cè)故障，如加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯(cuò)誤

7、出眾的維護(hù)性
可現(xiàn)場(chǎng)更換傳感器

小型輕量，易于安裝

二、產(chǎn)品功能簡(jiǎn)介：

橫河電機(jī)推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術(shù)的長(zhǎng)期經(jīng)驗(yàn)積累和優(yōu)秀業(yè)績(jī)基礎(chǔ)上研發(fā)出來(lái)的。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400的氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積技術(shù)，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接。這樣不僅預(yù)防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應(yīng)和長(zhǎng)壽命。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過(guò)程。

用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制
用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測(cè)量
測(cè)量氧氣濃度，防止粉塵運(yùn)輸中粉塵爆炸

三、技術(shù)規(guī)格：

測(cè)量對(duì)象

惰性氣體中的氧氣濃度
（易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體（包括水蒸氣）除外）

測(cè)量系統(tǒng)

氧化鋯系統(tǒng)

采樣方法

泵式，抽提式等

樣氣條件

流速: 200 ± 25ml/min（僅用于傳感器）
溫度: 0~50℃（無(wú)結(jié)露）
濕度: 無(wú)結(jié)露
壓力: 0~300PaG
zui大容許壓力: 30kPaG

測(cè)量量程

0-10ppm O2至0-100vol% O2

輸出量程

自動(dòng):	0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100%（默認(rèn)）其他: 可設(shè)為0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-100%，1~9的整數(shù)
固定:	設(shè)為0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-100%
部分:	可設(shè)置下限值或上限值

模擬輸出

2路輸出，
一次: 4～20mA DC（zui大負(fù)載電阻: 550Ω）
二次: 可選為0~1，0~5，0~10V DC（負(fù)載電阻: 10kΩ或更大）

接點(diǎn)輸出

報(bào)警輸出2點(diǎn):	錯(cuò)誤接點(diǎn)，O2濃度報(bào)警接點(diǎn)
量程范圍輸出1點(diǎn):	接點(diǎn)輸出
多選擇器（選配件）:	流路切換接點(diǎn)輸出和測(cè)量中流路信息接點(diǎn)輸出

接點(diǎn)輸入

1點(diǎn): 采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF

自診斷

錯(cuò)誤（故障）:	傳感器錯(cuò)誤，加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷開，設(shè)備溫度錯(cuò)誤，CPU錯(cuò)誤，F(xiàn)AN停止
報(bào)警（警告）:	加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯(cuò)誤，電動(dòng)勢(shì)異常，非對(duì)稱電壓錯(cuò)誤錯(cuò)誤，標(biāo)定錯(cuò)誤，傳感器電阻錯(cuò)誤，O2濃度上/下限，超限

串口通信

RS-232，38400 bps

標(biāo)定方法

（1）3點(diǎn): 10ppm，1000ppm，空氣，（2）2點(diǎn): 可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣標(biāo)定，（3）1點(diǎn)，（4）空氣標(biāo)定

暖機(jī)時(shí)間

20分以內(nèi)

電源

100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz

功耗

100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大

尺寸

213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm

質(zhì)量

約5kg

管線連接

氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋

環(huán)境條件

安裝條件:	室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域
環(huán)境溫度:	0～40℃，無(wú)結(jié)露
環(huán)境濕度:	5～85%RH
儲(chǔ)存溫度:	-5～50℃

符合的安全標(biāo)準(zhǔn)
和EMC標(biāo)準(zhǔn)

安全標(biāo)準(zhǔn):	61010-1:2001
EMC:	EN 61326-1 Class A，Table 2（用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)） EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3

四、特性：

重復(fù)性	±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%）
線性	±2%F.S. ±3%F.S.（0~100ppm或更低）
響應(yīng)時(shí)間	90%響應(yīng) 10秒內(nèi)（0~1%或更高） 30秒內(nèi)（小于0~1%）
漂移	±2%F.S./周