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廣東益民水處理科技有限公司

多晶硅片清洗為什么要用到超純水設(shè)備?

時(shí)間:2013-1-3閱讀:2411
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多晶硅片清洗為什么要用到超純水設(shè)備?

多晶硅片,半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等,會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。所以清洗多晶硅,半導(dǎo)體,太陽能光伏電池板必須用超純水,目前制取超純水工藝可分為反滲透+混床超純水設(shè)備,二是反滲透+EDI超純水設(shè)備,這是兩種制取超純水設(shè)備常用的工藝。

 

超純水設(shè)備是指采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備,用于制取超純水的機(jī)器,超純水zui初是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水,這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,超純水無硬度,口感較甜,又常稱為去離子水,可直接飲用,也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。
超純水設(shè)備行業(yè)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)超純水水質(zhì)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。

 

超純水設(shè)備技術(shù)發(fā)展史:

*代:預(yù)處理 -陽床-陰床-混床

第二代:預(yù)處理 -反滲透-混床

第三代:預(yù)處理 -反滲透-電去離子(EDI)

 

多晶硅片,半導(dǎo)體器件,太陽能光伏行業(yè)硅片清洗水質(zhì)要求非常高,電阻率達(dá)18兆以上,目前工藝是全膜法制取超純水,全膜法超純水設(shè)備是指采用盤濾+UF+RO+EDI+SMB組成的工藝設(shè)備,即預(yù)處理采用盤濾過濾器+超濾工藝,除鹽采用二級(jí)反滲透+EDI工藝使産水電阻率達(dá)到15MΩ.cm以上,終端供水采用變頻供水泵+二級(jí)精精混床+終端超濾膜使産水電阻率達(dá)到18.2MΩ.cm,經(jīng)處理后的產(chǎn)水水質(zhì)達(dá)到《電子級(jí)水GB/T11446.1-1997 Ⅰ級(jí)》水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

 

全膜法超純水設(shè)備該超純水設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)EDI系電滲析(ED)和離子交換技術(shù)(DI)有機(jī)結(jié)合,達(dá)到連續(xù)除鹽、運(yùn)行維護(hù)簡單、無酸堿排放污染。在膜處理系統(tǒng)中,用做前處理的超濾一般使用直徑1mm的中空纖維,以脫除原水中的懸浮物及膠體,UF用作前處理的zui大問題是膜污染及膜孔堵塞,為此常在前面設(shè)置預(yù)過濾器,以去除大粒徑懸浮物,在預(yù)過濾前加絮凝劑,如PAC(聚丙稀酸)可提高過濾水質(zhì),并降低膜阻力。對電廠鍋爐補(bǔ)給水系統(tǒng)要求的溶氧量一般要求為0.3 mg/L以下,為此脫氣膜應(yīng)該在低于5.33Kpa(40TORR)的真空度下操作??刂葡到y(tǒng)采用工控機(jī)程控控制,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)起停,加藥及沖洗,自動(dòng)監(jiān)測各種運(yùn)行參數(shù),以便生產(chǎn)管理。

 

全膜法超純水設(shè)備系統(tǒng)有如下優(yōu)點(diǎn):

1、連續(xù)運(yùn)行禪水質(zhì)穩(wěn)定品質(zhì)更佳。

2、系統(tǒng)運(yùn)行可靠性穩(wěn)定。

3、運(yùn)行成本低。

4、占地面積小。

5、自動(dòng)化程度高。

6、操作及維護(hù)簡單,無需接觸酸堿。

7、使用安全及環(huán)境良好。

8、無污水排放,無環(huán)境污染。

 

硅是地球上儲(chǔ)藏zui豐富的材料之一,從19世紀(jì)科學(xué)家們發(fā)現(xiàn)了晶體硅的半導(dǎo)體特性后,它幾乎改變了一切,甚至人類的思維。直到上世紀(jì)60年代開始,硅材料就取代了原有鍺材料。硅材料――因其具有耐高溫和抗輻射性能較好,特別適宜制作大功率器件的特性而成為應(yīng)用zui多的一種半導(dǎo)體材料,目前的集成電路半導(dǎo)體器件大多數(shù)是用硅材料制造的?,F(xiàn)在,我們的生活中處處可見“硅”的身影和作用,晶體硅太陽能電池是近15年來形成產(chǎn)業(yè)化zui快的。

 

熔融的單質(zhì)硅在凝固時(shí)硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒,則這些晶粒平行結(jié)合起來便結(jié)晶成單晶硅。單晶硅的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅,然后用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料,隨著國內(nèi)和市場對單晶硅片需求量的快速增加,單晶硅棒的市場需求也呈快速增長的趨勢。

 

單晶硅圓片按其直徑分為6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。直徑越大的圓片,所能刻制的集成電路越多,芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片對材料和技術(shù)的要求也越高。單晶硅按晶體生長方法的不同,分為直拉法(CZ)、區(qū)熔法(FZ)和外延法。直拉法、區(qū)熔法生長單晶硅棒材,外延法生長單晶硅薄膜。直拉法生長的單晶硅主要用于半導(dǎo)體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽能電池。目前晶體直徑可控制在Φ3~8英寸。區(qū)熔法單晶主要用于高壓大功率可控整流器件領(lǐng)域,廣泛用于大功率輸變電、電力機(jī)車、整流、變頻、機(jī)電一體化、節(jié)能燈、電視機(jī)等系列產(chǎn)品。目前晶體直徑可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于集成電路領(lǐng)域。

 

由于成本和性能的原因,直拉法(CZ)單晶硅材料應(yīng)用zui廣。在IC工業(yè)中所用的材料主要是CZ拋光片和外延片。存儲(chǔ)器電路通常使用CZ拋光片,因成本較低。邏輯電路一般使用價(jià)格較高的外延片,因其在IC制造中有更好的適用性并具有消除Latch-up的能力。

 

單晶硅也稱硅單晶,是電子信息材料中zui基礎(chǔ)性材料,屬半導(dǎo)體材料類。單晶硅已滲透到國民經(jīng)濟(jì)和國防科技中各個(gè)領(lǐng)域,當(dāng)今超過2000億美元的電子通信半導(dǎo)體市場中95%以上的半導(dǎo)體器件及99%以上的集成電路用硅。

 

多晶硅是由許多硅原子及許多小的晶粒組合而成的硅晶體。由于各個(gè)晶粒的排列方向彼此不同,其中有大量的缺陷。多晶硅一般呈深銀灰色,不透明,具有金屬光澤,性脆,常溫下不活潑。多晶硅是用金屬硅(工業(yè)硅)經(jīng)化學(xué)反應(yīng)、提純,再還原得到的高純度材料(也叫還原硅)。目前世界上多晶硅生產(chǎn)的方法主要有改良西門子法(SiHCl3)、新硅烷法(SiH4)、SiH2Cl2熱分解法、SiCl4法等多晶硅生產(chǎn)工藝。當(dāng)前多晶硅的市場狀況是:從上來看,早幾年多晶硅還處于供過于求的局面,2004年開始,由于太陽能產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,太陽能用多晶硅供不應(yīng)求,導(dǎo)致多晶硅供應(yīng)緊張。在國內(nèi),我國多晶硅生產(chǎn)長期不能滿足國內(nèi)市場需要,嚴(yán)重依賴于進(jìn)口。

 

太陽能電池片,中文名稱:太陽能電池板 英文名稱:solar cell panel 定義:由若干個(gè)太陽能電池組件按一定方式組裝在一塊板上的組裝件.太陽能電池板 Solar panel,分類:晶體硅電池板:多晶硅太陽能電池、單晶硅太陽能電池。非晶硅電池板:薄膜太陽能電池、有機(jī)太陽能電池。太陽能電池板:太陽能電池板是太陽能發(fā)電系統(tǒng)中的核心部分,也是太陽能發(fā)電系統(tǒng)中價(jià)值zui高的部分。其作用是將太陽能轉(zhuǎn)化為電能,或送往蓄電池中存儲(chǔ)起來,或推動(dòng)負(fù)載工作。太陽能電池板的質(zhì)量和成本將直接決定整個(gè)系統(tǒng)的質(zhì)量和成本。

 

益民水處理生產(chǎn)的超純水設(shè)備處力:按客戶要求設(shè)計(jì)

出水指標(biāo):≥16-18.2MΩ.CM

產(chǎn)水用途:電子、單晶硅/多晶硅用工業(yè)超純水、純水、單晶硅多晶硅清洗超純水、硅片硅材料清洗超純水

 

我們公司專業(yè)生產(chǎn)全膜法超純水設(shè)備,有多年的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),尤其在電控系統(tǒng)PLC方面在水處理行業(yè)技術(shù)都是比較成熟,我們也有做過很多各行業(yè)的水處理設(shè)備,這方面我們有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們公司做出來的設(shè)備質(zhì)量比他們都有優(yōu)勢,在國內(nèi)具有一定的市場竟?fàn)幜?。該產(chǎn)品由于具備性能好、*國外同類產(chǎn)品價(jià)格、供貨及時(shí)、售后服務(wù)方便快捷等諸多優(yōu)勢。在硅片,太陽能光伏,半導(dǎo)體,LED、LCD、光電光學(xué)企業(yè)的脫鹽水和超純水裝置,得到了業(yè)界的廣泛贊譽(yù),歡迎廣大客戶前來參觀考察。益民爭創(chuàng)業(yè)內(nèi)水處理*品牌-竭誠為新老客人提供產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。

 

全膜法超純水設(shè)備在設(shè)備設(shè)計(jì)上,采用成熟、可靠、*、自動(dòng)化程度高的兩級(jí)RO+EDI水處理工藝,預(yù)處理采用盤濾過濾器+超濾工藝,除鹽采用二級(jí)反滲透+EDI工藝使産水電阻率達(dá)到15MΩ.cm以上,終端供水采用變頻供水泵+二級(jí)精精混床+終端超濾膜確保處理后的超純水水質(zhì)電阻率達(dá)到18.2MΩ.cm,利用率高,運(yùn)行可靠,經(jīng)濟(jì)合理。關(guān)鍵設(shè)備及材料均采用主流*可靠產(chǎn)品,采用PLC+觸摸屏控制,全套系統(tǒng)自動(dòng)化程度高,系統(tǒng)穩(wěn)定性高。大大節(jié)省人力成本和維護(hù)成本。使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
作者:益民水處理來源:超純水設(shè)備

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