潔凈室是各個(gè)高精尖科技領(lǐng)域發(fā)展所必需的環(huán)境,而多點(diǎn)測(cè)量系統(tǒng)又是當(dāng)前潔凈室檢測(cè)方法中的方法,沒(méi)有它就沒(méi)有潔凈室。因此發(fā)展基于多點(diǎn)測(cè)量系統(tǒng)的潔凈室是我們發(fā)展高精尖科技產(chǎn)業(yè)所必須的有力保障。同時(shí)多點(diǎn)測(cè)量系統(tǒng)本身也有著廣泛的應(yīng)用場(chǎng)合和廣闊的市場(chǎng)前景,因此研發(fā)此系統(tǒng)有著重要的意義。 本文以塵埃粒子計(jì)數(shù)器的設(shè)計(jì)為主線,論述的主要內(nèi)容如下: 1、介紹了塵埃粒子計(jì)數(shù)器的使用環(huán)境,塵埃粒子計(jì)數(shù)器在潔凈室中的重要作用。 2、詳細(xì)介紹了塵埃粒子計(jì)數(shù)器實(shí)現(xiàn)的光學(xué)原理,以及選擇計(jì)數(shù)器中主要的光學(xué)元器件的方法。 3、詳細(xì)設(shè)計(jì)了塵埃粒子計(jì)數(shù)器的硬件電路實(shí)現(xiàn)方式,以及為其定制的前置放大電路,數(shù)據(jù)采集電路。 4、編寫(xiě)了塵埃粒子計(jì)數(shù)器的軟件程序,并對(duì)軟件系統(tǒng)進(jìn)行了詳盡的說(shuō)明和分析。 5、對(duì)于系統(tǒng)中多點(diǎn)測(cè)量的詳細(xì)介紹,并用實(shí)際的測(cè)量數(shù)據(jù)來(lái)檢驗(yàn)多點(diǎn)測(cè)量塵埃粒子計(jì)數(shù)系統(tǒng)的準(zhǔn)確性。