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技術(shù)文章

螺桿式干式真空泵的特點及應(yīng)用

閱讀:622發(fā)布時間:2015-11-17

 螺桿式干式真空泵特點如下:


  ①可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少,沒有易損件,因此它運轉(zhuǎn)可靠,壽命長。


 ?、诓僮骶S護(hù)方便。


 ?、蹌恿ζ胶庑院谩B輻U式干式真空泵沒有不平衡的慣性力,機(jī)器可平穩(wěn)地高速運行。


 ?、苓m應(yīng)性強(qiáng)。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點,在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速,排氣量幾乎不受排氣壓力的影響.


 ?、荻嘞嗷燧?。由于螺桿式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙,因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。


  盡管螺桿型干式真空泵具有這么多的優(yōu)點,然而,由于目前國內(nèi)一些公司正在使用的螺桿型干式真空泵均是從國外進(jìn)口,價格非常昂貴,每臺螺桿泵價格要三、四十萬元人民幣,所以螺桿型真空泵在我國的使用并不廣泛。造成這一現(xiàn)象的主要原因是由于螺桿泵轉(zhuǎn)子型線較復(fù)雜,加工難度大,需用特制的刀具在機(jī)床上進(jìn)行加工。另外,對螺桿型干式真空泵泵體的加工精度也有較高的要求,而國內(nèi)的加工水平目前還難以達(dá)到這個水平。


  螺桿式干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取回收溶劑,在脂肪酸生產(chǎn)中用來消除水污染,清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體,為人造器官生產(chǎn)提供清潔無菌條件,回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮,食品包裝等應(yīng)用范圍極為廣泛。


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