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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-雙向型 22S系列

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

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更新時(shí)間:2022-01-17 10:05:52瀏覽次數(shù):187次

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美國ALICAT 22S系列雙向型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。22S系列雙向型質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥,正向或反向精確測(cè)量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設(shè)計(jì)模式,一臺(tái)閥門專門用于控制進(jìn)氣、另一臺(tái)用于排氣,......


產(chǎn)品特色


●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

●  多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力

●  可選高精度:優(yōu)于0.5%

●  高量程比 100:1

●  響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))

●  內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體

●  可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣

●  可適用于諸多腐蝕性氣體



技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類    內(nèi)置了128種氣體,請(qǐng)參考背面氣體兼容表一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量程程    從-0.5SCCM~0.5SCCM 到-5000SLPM~5000SLPM

量程比    100:1

顯示流量    -99%FS~99%FS

顯示屏    帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度度    ± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程

度    ±(0.4%RD + 0.2%FS),選配僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

重復(fù)復(fù)性    ± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ℃/ Atm

響應(yīng)時(shí)間    100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時(shí)間:<1s

標(biāo)定工況    25 & 100kPa 絕壓、20 & 100kPa、絕壓0 & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)

工作溫度    -10 ~ +50 

工作濕度    0-99%,無冷凝

標(biāo)準(zhǔn)工作壓力    1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)    2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ~ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材質(zhì)質(zhì)    316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安裝方式    對(duì)位置無要求 

防護(hù)等級(jí)    IP40

* 如選Profibus,則無模擬信號(hào),無顯示,其供電電壓及供電電流需咨詢我們


選項(xiàng)配件

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