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FIB設(shè)備在失效分析中的多維應(yīng)用解析

2025年01月02日 10:11:52人氣:395來源:優(yōu)爾鴻信檢測技術(shù)(深圳)有限公司

  FIB(聚焦離子束)技術(shù)在失效分析領(lǐng)域的應(yīng)用極為廣泛,涵蓋了從芯片到電路板等多個(gè)層面的精密分析。以下是其主要應(yīng)用領(lǐng)域及其特點(diǎn):
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  芯片失效分析
 
  精確切割與截面觀察
 
  FIB 技術(shù)以其精度,能夠?qū)π酒M(jìn)行微米乃至納米級(jí)別的定點(diǎn)切割,制備出高質(zhì)量的橫截面樣本。這種能力對(duì)于解析復(fù)雜多層芯片結(jié)構(gòu)尤為關(guān)鍵,可以清晰展現(xiàn)各層之間的連接狀況、界面狀態(tài)以及可能存在的缺陷,如短路、開路或?qū)娱g剝離等。結(jié)合能譜儀(EDS)等元素分析工具,還能進(jìn)一步分析截面成分,檢測雜質(zhì)或元素?cái)U(kuò)散等問題,從而深入探究芯片失效的根本原因。
 
  芯片線路修改與修復(fù)
 
  當(dāng)遇到芯片內(nèi)線路故障時(shí),F(xiàn)IB 技術(shù)提供了一種非破壞性的解決方案。通過離子束濺射刻蝕移除故障區(qū)域材料,并借助氣體注入系統(tǒng)沉積金屬(如鎢或鉑),實(shí)現(xiàn)線路的精準(zhǔn)修復(fù)和重新連接。這種方法不僅有助于芯片的失效分析,還能夠在一定程度上挽救昂貴的芯片免于報(bào)廢,有效降低生產(chǎn)成本。
 
  電子元器件失效分析
 
  內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察
 
  針對(duì)小型電子元件,如電阻、電容、晶體管等,F(xiàn)IB 設(shè)備可以在保持其整體結(jié)構(gòu)完整性的前提下,執(zhí)行局部切割和微觀結(jié)構(gòu)觀察。例如,在分析晶體管失效原因時(shí),F(xiàn)IB 切割技術(shù)能夠揭示晶體管內(nèi)部結(jié)構(gòu)是否存在缺陷、雜質(zhì)或異常擴(kuò)散現(xiàn)象,為失效機(jī)制提供直觀證據(jù)。
 
  缺陷定位與分析
 
  利用 FIB 的高分辨率成像功能,可以迅速且準(zhǔn)確地定位電子元器件表面或內(nèi)部的潛在缺陷點(diǎn),如裂紋、孔洞或金屬遷移等。隨后的深入分析有助于確定缺陷性質(zhì)、形成原因及其對(duì)元器件性能的影響,為生產(chǎn)工藝優(yōu)化和產(chǎn)品質(zhì)量提升提供重要參考。
 
  材料失效分析
 
  微觀結(jié)構(gòu)分析
 
  FIB 設(shè)備具備逐層剝離和成像的能力,可用于細(xì)致觀察材料的微觀結(jié)構(gòu)特征,包括晶粒尺寸、晶界分布及相組成等。尤其在研究金屬材料疲勞失效時(shí),F(xiàn)IB 制備的橫截面圖像能展示疲勞裂紋的萌生與擴(kuò)展路徑,幫助理解裂紋與微觀結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系,進(jìn)而揭示材料失效的內(nèi)在機(jī)理。
 
  成分分析與擴(kuò)散研究
 
  配合 EDS 或二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)等先進(jìn)分析手段,F(xiàn)IB 可以詳細(xì)分析材料中的元素分布,探索元素?cái)U(kuò)散行為。例如,在評(píng)估半導(dǎo)體材料中雜質(zhì)擴(kuò)散對(duì)器件性能的影響時(shí),F(xiàn)IB 切割結(jié)合 SIMS 分析可提供不同深度截面的雜質(zhì)濃度分布數(shù)據(jù),明確雜質(zhì)擴(kuò)散深度和機(jī)制。
 
  電路板失效分析
 
  線路斷路與短路分析
 
  面對(duì)電路板上的線路故障,F(xiàn)IB 技術(shù)提供了有效的解決方案。通過對(duì)故障區(qū)域的切割和觀察,可以查明故障源是線路斷裂、腐蝕、焊點(diǎn)問題還是其他因素所致。對(duì)于短路情況,F(xiàn)IB 還可以通過離子束刻蝕清除短路部位的金屬,恢復(fù)線路正常連接,并分析短路產(chǎn)生的具體原因,如金屬遷移或焊料飛濺等。
 
  焊點(diǎn)質(zhì)量分析
 
  FIB 設(shè)備同樣適用于電路板焊點(diǎn)的微觀結(jié)構(gòu)分析,能夠觀察焊點(diǎn)內(nèi)部組織、金屬間化合物的形成情況,以及是否存在孔隙或裂紋等缺陷。通過評(píng)估焊點(diǎn)質(zhì)量,可以驗(yàn)證焊接工藝是否合理,為工藝改進(jìn)提供科學(xué)依據(jù)。
 
  FIB 技術(shù)憑借其高精度和多功能性,在失效分析中扮演著重要的角色,極大地推動(dòng)了電子產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品質(zhì)量的提升。
 
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