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太陽能電池-多晶硅高溫尾氣處理

2017年09月07日 16:13:19人氣:3377來源:上海奕卿過濾科技有限公司

多晶硅作為制作太陽能電池的主要原料,近年來得到巨大發(fā)展。不管是改良西門子法還是硅烷法生產(chǎn)工藝中都存在大量過濾分離器,用于硅粉收集、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結(jié)合諸多項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn),奕卿提出了自己的過濾工藝解決方案。

污染物及雜質(zhì):

1.未*反應(yīng)的硅粉顆粒;
2.循環(huán)液帶入的管道中的雜質(zhì);
3.進(jìn)料帶入的固體粉塵與雜質(zhì);
4.合成反應(yīng)生成的固體雜質(zhì);

5.這些顆粒的存在是影響生產(chǎn)穩(wěn)定、換熱效率的重要原因。的過濾與分離裝置不僅保護(hù)了生產(chǎn)設(shè)備的工藝安全,同時(shí)也提升了產(chǎn)品產(chǎn)量。

高溫尾氣凈化

尾氣過濾應(yīng)用在多晶硅生產(chǎn)的各個(gè)工藝段,對多晶硅的生產(chǎn)起到重要作用,尤其目前行業(yè)低位運(yùn)行期間,對多晶硅產(chǎn)品降低成本至關(guān)重要

a.廢氣廢液工位的煙氣過濾;
b.還原爐尾氣分離
c.氫化爐尾氣分離;
d.硅粉槽硅粉過濾等。

1、還原尾氣分離

在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過干法分離后,H2和HCl得以回收利用,在H2回用前需過濾氣體中含有的未反應(yīng)硅粉和生成的石墨粉,保證氫氣純凈,使氫化反應(yīng)和還原反應(yīng)更穩(wěn)定、。

問題:

要求:

解決:

氫氣為高危氣體

過濾器密封性能良好

采用自動(dòng)反吹系統(tǒng),無須打開濾器,減少內(nèi)件更換頻次,避免泄露可能

石墨粉/硅粉顆粒粒徑微小,硬度高。

過濾精度要求高,防止內(nèi)件穿透。

采用*的燒結(jié)金屬氈內(nèi)件,過濾孔徑穩(wěn)定,保證過濾性能,過濾精度可達(dá)0.1um-0.5um

尾氣溫度高

抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。

奕卿采用高溫直接處理工藝,避免降溫處理帶來管道腐蝕,能耗浪費(fèi)嚴(yán)重的問題。

2、廢氣、廢液焚燒處理

在多晶硅生產(chǎn)工藝中,廢氣廢液處理一直是困擾企業(yè)的難題之一。傳統(tǒng)的噴淋處理工藝,處理成本高,浪費(fèi)嚴(yán)重,環(huán)保問題嚴(yán)峻。

解決方案:

奕卿采用干法分離技術(shù),將廢氣廢液在爐內(nèi)燃燒,生成SiO2粉末,通過分離收集SiO2粉末產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)效益。同時(shí)解決環(huán)保達(dá)標(biāo)排放問題。

工藝優(yōu)勢:

1廢氣廢液集中處理,工藝流程短,操作簡單
2回收的SiO2粉末產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)效益;
3氣體經(jīng)燃燒后,符合環(huán)保要求,可直接放空處理,經(jīng)濟(jì)環(huán)保。

關(guān)鍵詞:電池
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