It’s not only Spin Coater, it’s Spin Processor!

――勻膠機(jī)顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機(jī)器”。MYCRO的MSC-650S所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過(guò)電腦輸出并予以保存。完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂?jī)x器的升級(jí)。

勻膠機(jī)是一種常見(jiàn)用于材料薄膜制備工藝的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，它的原理相對(duì)比較簡(jiǎn)單，利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機(jī)器”。

勻膠機(jī)有很多稱(chēng)謂，勻膠臺(tái)，旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)，旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)或者旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)等等，它的英文是 Spin Coater（旋轉(zhuǎn)涂膜的意思）。

勻膠機(jī)既然是科研開(kāi)發(fā)上制備薄膜材料*的方法之一，使用者對(duì)于該設(shè)備zui大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會(huì)用均一性和可重復(fù)性來(lái)衡量薄膜材料制備的好壞。

國(guó)內(nèi)外對(duì)于這種勻膠旋涂設(shè)備的發(fā)展呈現(xiàn)出很大的差距。中國(guó)先開(kāi)展勻膠機(jī)研制的單位是中科院微電子所，推出的KW -4A型號(hào)的勻膠機(jī)，具有低速起步和高速旋轉(zhuǎn)兩個(gè)單位。

國(guó)外的高性能勻膠機(jī)zui早則集中在美國(guó)和德國(guó)。后來(lái)隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，日韓等國(guó)家也開(kāi)發(fā)出性?xún)r(jià)比較高的勻膠機(jī)器。

日韓等國(guó)隨著在半導(dǎo)體制程，LCD，TFT顯示材料的研發(fā)制造等領(lǐng)域的發(fā)展占據(jù)先機(jī)，所開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品基本上集中于半導(dǎo)體濕制程系列工藝中的自動(dòng)化控制系統(tǒng)，由于涉及到與其它工序的自動(dòng)化集成的趨勢(shì)，故產(chǎn)品價(jià)格高得也令人咂舌。目前美德諸多公司也放棄利潤(rùn)低下的單獨(dú)功能的勻膠產(chǎn)品發(fā)展，全部集中于半導(dǎo)體整體工藝的解決方案提供。

MYCRO美國(guó)產(chǎn)的勻膠設(shè)備MSC-650S系列，除了對(duì)于轉(zhuǎn)速的精密控制以外（轉(zhuǎn)速范圍50~12000轉(zhuǎn)/分，分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，由美國(guó)NIST工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，無(wú)需再校準(zhǔn)，加速度可達(dá)80000RPM/S，zui低則可達(dá)1RPM/S），加速時(shí)間可調(diào)范圍1秒至99分59.9秒，zui小增加度0.1秒。

MYCRO的MSC-650S勻膠機(jī)還可以通過(guò)與電腦鏈接，以及隨機(jī)附帶的SPIN分析軟件，對(duì)于每次實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析調(diào)試，并挑選出*的制備過(guò)程。所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過(guò)電腦輸出并予以保存。完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂?jī)x器的升級(jí)。