型號 156×156（mm）　　　 125×125（mm）

生長方法 柴氏法CZ 柴氏法CZ

型號摻雜 P/N型摻硼/磷 P/N型摻硼/磷

晶向偏差 <100>±2° <100>±2°

氧含量 ≤1.0×1018 atoms/cm3 ≤1.0×1018 atoms/cm3 

碳含量 ≤5.0×1016 atoms/cm3 ≤5.0×1016 atoms/cm3

少子壽命 ＞10μs ＞10μs 

電阻率 0.5-3Ω.cm 3-6Ω.cm 0.5-3Ω.cm 3-6Ω.cm 

位錯 ≤2000/cm2 ≤2000/cm2 

準方邊長 156±0.5 mm 125±0.5 mm 

對角線尺寸 200±0.5 mm 150±0.5 mm 

翹曲度 ≤70µm 70µm 

TTV ≤40μm 40μm