等離子體技術(shù)處理有機廢氣的原理為在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離，解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)闊o毒無害或低毒低害物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。等離子體技術(shù)降解有機氣體不需要外加吸收劑或催化劑，只與強電離放電中產(chǎn)生的OH•反應(yīng)生成CO2和H2O，實現(xiàn)無污染化。在強電離放電中，OH•的濃度對有機廢氣的降解作用十分重要。

等離子體分解破壞揮發(fā)性有機污染物的兩種途徑如下

       （1）高能級電子直接作用于污染物分子：

        e + 污染物分子 —— 各種碎片分子

        （2）高能級電子間接作用于污染物分子：

        e +O2 (N2,H20) ——2O(N,N*,OH) +污染物分子 ——中性分子