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行業(yè)產(chǎn)品

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邁可諾技術(shù)有限公司


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UltraT進(jìn)口濕法刻蝕和剝離系統(tǒng)

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參   考   價(jià): ￥ 11

訂  貨  量: ≥1 噸

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)CESx124

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：趙先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2021-05-20 17:17:23瀏覽次數(shù)：486次

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經(jīng)營(yíng)模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：59條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：趙先生 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
大基板尺寸 13英寸直徑    

簡(jiǎn)介：這款蝕刻和清潔系統(tǒng)專為滿足當(dāng)今晶圓、光掩模和基板的前沿應(yīng)用的特殊工藝需求而設(shè)計(jì)。這款高效的蝕刻和清潔系統(tǒng)CESx124、126、128或133是理想選擇，可滿足不同大小尺寸的晶片、光掩模和襯底，不論是從小直徑還是非常大直徑。CESx可以配置多種工藝分配選項(xiàng)，Megasonic噴嘴對(duì)DI H20或化學(xué)藥品的處理分配選項(xiàng)；用于化學(xué)制劑的低壓噴嘴；化學(xué)加熱器和DI-H20；用于表面攪拌以加快反應(yīng)的

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)：

  • 專為重要控制和安全而設(shè)計(jì)的系統(tǒng)。
  • 多達(dá)9x9英寸/ 300mm直徑的基板兼容性。
  • 主軸組件具有直流無(wú)刷伺服電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的速度控制和分度。
  • 特氟龍涂層不銹鋼臂可調(diào)節(jié)臂速度和行進(jìn)位置。
  • 徑向排氣腔，用于大層流，蓋子頂部有N2進(jìn)料。
  • DI-H20加熱器，用于清潔和干燥輔助。
  • 過(guò)程中包含化學(xué)相容性材料PVDF或可選的PTFE。
  • 獨(dú)立式聚丙烯柜。
  • 微處理器控制功能可以在存儲(chǔ)器中保留三十（30）步的配方，每個(gè)配方有三十（30）步。配方和步驟的數(shù)量均可根據(jù)要求擴(kuò)展。
  • 內(nèi)置安全聯(lián)鎖和雙重控制。
  • 用聯(lián)鎖裝置沖洗整個(gè)工藝區(qū)域和基材的pH值，以禁止進(jìn)入工藝區(qū)域并控制排放和主軸轉(zhuǎn)速直到安全。
  • 按鈕蓋打開/關(guān)閉。
  • 觸摸屏圖形用戶界面（GUI），易于編程和安全鎖定，并帶有屏幕錯(cuò)誤報(bào)告。
  • 用于化學(xué)和房屋排水的排水分流閥。
  • 設(shè)計(jì)符合SEMI S2 / S8準(zhǔn)則。

 

技術(shù)參數(shù)：

  • 產(chǎn)品：蝕刻和剝離系統(tǒng)
  • 型號(hào)：CESx124
  • 可用機(jī)械臂：4
  • 大基板尺寸：13英寸直徑
  • 大主軸速度：2500
  • 配方：高達(dá)30
  • 分配管路：12

 

主營(yíng)產(chǎn)品：

Laurell勻膠機(jī)   

Harrick等離子清洗機(jī)

Thetametrisis膜厚儀

Microxact探針臺(tái)

ALD原子層沉積系統(tǒng)

TRION反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻機(jī)     

Novascan紫外臭氧清洗機(jī)

Nilt納米壓印機(jī)

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

Annealsys高溫退火爐

Kinematic程序剪切儀

Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng)   

Wabash/Carver自動(dòng)壓片機(jī)

產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字： 濕法刻蝕系統(tǒng) 刻蝕/剝離系統(tǒng) 化學(xué)清洗/刻蝕系統(tǒng) CESx124 Etch/Strip

 


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