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從有關(guān)部門的試驗(yàn)及研究結(jié)果可知，SF6氣體的毒性主要來自5個方面。
（1）SF6產(chǎn)品不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒

    大家知道，目前化工行業(yè)制造SF6氣體的方法主要是采用單質(zhì)硫磺與過量氣態(tài)氟直接化合反應(yīng)而成；即 S+3F2→SF6+Q（放出熱量） 。在合成的粗品中含有多種雜質(zhì)，其雜質(zhì)的組成和含量因原材料的純 度、生產(chǎn)設(shè)備的材質(zhì)、工藝條件等因素的影響而有很大差異，雜質(zhì)總含量可達(dá)5%。其組成有硫氟化合物，如：S2、F2、SF2、SF4、S2F10O 等；硫氟氧化合物如 SOF2、SO2F2、SOF4、S2F10O 等 以及原料中帶入的雜質(zhì)如 HF、OF2、CF4、N2、O2等。為了凈化粗品中的雜質(zhì)，合成后的 SF6氣 體還需要經(jīng)過水洗、堿洗、熱解（去除劇毒的十氟化物）、干燥、吸附、冷凍、蒸餾提純等一系 列凈化處理過程才能得到純度在99.8%以上的產(chǎn)品。然后再用壓縮機(jī)加壓，充入降溫至 -80℃左右的鋼瓶中，以液態(tài)形式存在。在使用時減壓放出，呈氣態(tài)沖入電氣設(shè)備中。
    除在上面的合成過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)外， 另外， 在氣體的充裝過程中還可能混入少量的空氣、水分、和礦物油等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)均帶有或會產(chǎn)生一定的毒性物質(zhì)。因此，為保證 SF6產(chǎn)品的 純度和質(zhì)量，對出廠的 SF6產(chǎn)品電工委員會（IEC）及許多國家均制定了質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，并要求生產(chǎn)廠家在供貨時提供生物試驗(yàn)無毒證明書。
（2）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體在高溫電弧發(fā)生作用時而產(chǎn)生的某些有毒產(chǎn)物
    例如：SF6氣 體在電弧中的分解和與氧的反應(yīng)：
2SF6 + O2 →2SOF2 + 8F（氟化亞硫酰）
2SF6 + O2 →2SOF4 + 4F（四氟化硫酰）
SF6 →SF4 + 2F（四氟化硫酰） SF6 →S + 6F（硫）
2SOF4 + O2 →2SO2F2 + 4F（氟化硫酰）
（3）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體分解物與其內(nèi)的水分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物
    例如：SF6氣體分解物與水的繼發(fā)性反應(yīng)： SF4 + H2O →SOF2 + 2HF   SOF4 + H2O →SO2F2 + 2HF SOF2 + H2O SO2F2 + 2H2O → SO2 + 2HF（二氧化硫） → H2SO4 + 2HF（硫酸）
（4）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體及分解物與電極（Cu－W 合金）及金屬材料（AL、Cu）反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物
    例如：SF6氣體及分解物與電極或其它材料反應(yīng)： 3SF6 + W → WF6（氣態(tài)）+ 3SF4
3F + AL →ALF3（固態(tài)粉末） 3SOF2 + AL2O3 →2ALF3（固態(tài)粉末）+ 3SO2
SF6 + Cu →CuF2(固態(tài)粉末) + SF6 4SF6 + W + Cu →2S2F2（氣態(tài)）+3WF6（氣態(tài)）+ CuF2（固態(tài)粉末）
（5）電器設(shè)備內(nèi)的 SF6氣體及分解物與絕緣材料反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物
    如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學(xué)作用，生成 SiF4、Si（CH3）2F2等產(chǎn)物。 
信息整理：SF6分解物測試儀生產(chǎn)廠家揚(yáng)州拓普電氣科技有限公司