Cube-200臺(tái)式掃描電鏡（馳奔儀器）是數(shù)字化控制，專業(yè)級(jí)電子顯微成像精密儀器。配置有三級(jí)電磁透鏡，大變焦范圍，長工作距離，多孔徑光闌，輕松獲得材料表面媲美大型掃描電鏡的高分辨、大景深、高質(zhì)量的微觀形貌導(dǎo)航圖；拓展簡單易用臺(tái)式電鏡X射線能譜儀（EDS），能快速獲得微米亞微米范圍微小區(qū)域化學(xué)元素定性定量結(jié)果；在工作條件固定模式下，Cube-200也是一款高效率的成像檢測(cè)設(shè)備。

詳細(xì)介紹

Cube-200是馳奔儀器第二代鎢絲槍掃描電鏡系列之臺(tái)式掃描電鏡（馳奔儀器）

硬件特征：

全數(shù)字控制，專業(yè)級(jí)電子顯微成像儀器；
標(biāo)配SE探測(cè)器，選配BSE探測(cè)器；
可選樣品倉低真空環(huán)境功能，直接測(cè)試非導(dǎo)電樣品；
可選內(nèi)置一體化簡單易用EDS；
XYZ三軸大行程自動(dòng)樣品臺(tái)，可選RT軸自動(dòng)控制（降低Z軸行程）；
多重彈簧橡膠隔振減振系統(tǒng)；
主機(jī)設(shè)計(jì)緊湊，系統(tǒng)高度集成，良好散熱及電磁兼容性能；
輕質(zhì)合金外殼，數(shù)字加工成型，具有良好電磁屏蔽功能。

性能指標(biāo)：

型號(hào)	Cube-200 專業(yè)入門級(jí)臺(tái)式掃描電鏡
樣品臺(tái)	XYZ三軸自動(dòng)，RT手動(dòng) -X: 45mm （自動(dòng)） -Y: 45mm （自動(dòng)） -Z: 5-50mm （自動(dòng)） -R: 360°無限（手動(dòng)） -T: ±90° （手動(dòng)）
電子槍	預(yù)對(duì)中鎢燈絲，三極自動(dòng)偏壓，偏壓與加速電壓關(guān)聯(lián)
加速電壓	200V-30KV ，數(shù)字化高壓電源，連續(xù)可調(diào)
探測(cè)器	E-T型 SE detector, 四分割半導(dǎo)體固體BSE detector（選購）
物鏡光闌	四孔位可變光闌，20~100μm
分辨率	5nm @30KV SE Image 8nm@30KV BSE Image
放大倍數(shù)	20x-300,000 x
樣品室	Se、Bse、EDS探測(cè)器接口， 4個(gè)其他接口
大樣品尺寸	Φ90mm x 45mm（H）
工作距離	0-48mm
掃描光柵運(yùn)動(dòng)	電位移 ±50μm，電旋轉(zhuǎn) 0-360°
視頻顯示模式	聚焦模式：320X240 像素，尺寸可變 TV模式：800x 600像素慢掃描模式:用于TV及聚焦模式。照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、大3200x2400像素
高級(jí)掃描	動(dòng)態(tài)聚焦，傾斜補(bǔ)償
圖像格式	JPG、TIFF、bmp、PNG
真空系統(tǒng)	全自動(dòng)真空系統(tǒng)，真空高壓連鎖安全保護(hù) -渦輪分子泵 -旋片式機(jī)械真空泵 -電動(dòng)閥門系統(tǒng)：真空閘板閥、電磁閥等 -高真空優(yōu)于7.5x10-3Pa （從大氣到達(dá)高真空小于3分鐘） -低真空模式 10-230Pa （選配）
自動(dòng)功能	亮度/對(duì)比度, 聚焦, 電子槍對(duì)中、偏壓、飽和，物鏡光闌搖擺對(duì)中，自動(dòng)照相存儲(chǔ)
軟件系統(tǒng)	基于Win10，Virtuoso控制軟件. 內(nèi)嵌長度角度面積測(cè)量、圖像編輯處理工具。*鼠標(biāo)鍵盤操作。
主機(jī)尺寸/重量	410(W）x440（D）x 520（H）mm /65kg
電源	單相交流 220V 、50Hz、1KW
耗材附件	預(yù)對(duì)中燈絲，樣品托，碳導(dǎo)電膠帶，工具