無錫高溫智能壓力變送器

高溫壓力傳感器是工業(yè)實踐中zui為常用的一種壓力變送器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風、鍋爐，熔爐等眾多行業(yè)。
高溫壓力傳感器是為了解決在高溫環(huán)境下對各種氣體、液體的壓力進行測量。主要用于測量鍋爐、管道、高溫反應(yīng)容器內(nèi)的壓力、井下壓力和各種發(fā)動機腔體內(nèi)的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領(lǐng)域。目前，研究比較多的高溫壓力傳感器主要有SOS，SOI，SiO2，Poly2Si等半導體傳感器，還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。半導體電容式壓力傳感器相比壓阻式壓力傳感器其靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗小，且只對壓力敏感，對應(yīng)力不敏感，因此，電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
高溫壓力傳感器由硅膜片、襯底、下電極和絕緣層構(gòu)成。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術(shù)，在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定。硅膜片和襯底利用鍵合技術(shù)鍵合在一起，形成具有一定穩(wěn)定性的硅膜片電容壓力傳感器。

無錫高溫智能壓力變送器工作原理
高溫壓力傳感器的工作原理風壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標準信號。

相關(guān)參數(shù)
量 程： -0.1～0～1～150(MPa) 綜合精度：0.25%FS、0.5%FS
輸出信號： 4～20mA(二線制)、0～5V、1～5V、0～10V(三線制)
供電電壓： 24DCV(9～36DCV)
介質(zhì)溫度： -20～800℃
環(huán)境溫度： 常溫(-20～85℃)
零點溫漂移： ≤±0.05%FS℃
量程溫度漂移： ≤±0.05%FS℃
補償溫度： 0~70℃
安全過載： 150%FS
極限過載： 200%FS
響應(yīng)時間： 5 mS(上升到90%FS)
負載電阻： 電流輸出型：zui大800Ω；電壓輸出型：大于5KΩ
絕緣電阻： 大于2000MΩ (100VDC)
密封等級： IP65
長期穩(wěn)定性能： 0.1%FS/年
振動影響： 在機械振動頻率20Hz～1000Hz內(nèi)，輸出變化小于0.1%FS