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秋山科技（東莞）有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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日本napson晶圓平整度測(cè)量厚度檢測(cè)FLA-200 測(cè)厚儀

參  考  價(jià):￥4560 - ￥200000 /臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)

  • 品牌

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商

  • 所在地

    東莞市

更新時(shí)間：2025-05-02 17:33:26瀏覽次數(shù)：3179次

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陳霞

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測(cè)量范圍 1 類型 數(shù)字式
日本napson晶圓平整度測(cè)量厚度檢測(cè)FLA-200
非接觸式平面度/厚度測(cè)量系統(tǒng)。測(cè)量晶片樣品的平整度（TTV，BOW，WARP）和厚度。

日本napson晶圓平整度測(cè)量厚度檢測(cè)FLA-200

產(chǎn)品特點(diǎn)

非接觸式平面度/厚度測(cè)量系統(tǒng)。測(cè)量晶片樣品的平整度（TTV，BOW，WARP）和厚度。

  • -支持測(cè)量厚度，TTV，BOW，翹曲，場(chǎng)地平面度和整體平面度（符合ASTM）
  • ?支持2-D和3-D映射顯示的軟件
  • ?數(shù)據(jù)可以輸出為CSV文件
  • ?使用5mmφ芯線電容式探頭進(jìn)行高精度測(cè)量
  • ? 60秒內(nèi)進(jìn)行12,000點(diǎn)掃描/高速測(cè)量

測(cè)量規(guī)格

測(cè)量目標(biāo)

?半導(dǎo)體/太陽能電池材料相關(guān)（硅，多晶硅，SiC等）
?硅基外延，離子注入樣品
?化合物半導(dǎo)體相關(guān)（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）

測(cè)量尺寸

3-8英寸

測(cè)量范圍

厚度：200 –1200μm
弓形：+/- 350μm
翹曲：350μm

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