4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：超潔凈間用多軸型,4軸水平多關(guān)節(jié)型清潔機(jī)械手GCR4000-AM系列適用于支持300mm的半導(dǎo)體制造裝置內(nèi),檢查裝置等的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:210mm,280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對應(yīng)2個FOUP適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式

詳細(xì)介紹

4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：

超潔凈間用多軸型, 4軸水平多關(guān)節(jié)型清潔機(jī)械手GCR4000-AM系列

適用于支持300mm的半導(dǎo)體制造裝置內(nèi), 檢查裝置等的晶圓搬運(yùn)

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:210mm, 280mm

機(jī)械手臂可以單獨(dú)對應(yīng)2個FOUP

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)玻璃基板

AC伺服電機(jī)的采用以及，對運(yùn)動軌跡的優(yōu)化實(shí)現(xiàn)了搬運(yùn)動作的高速化

比GHR4000類型速度快了1.8倍

晶圓固定方式：真空吸附式, 下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式

手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維), 鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供的手指

4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境	潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂	單臂
到達(dá)距離	400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸行程	300mm / 400mm / 500mm
可搬運(yùn)質(zhì)量	4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))