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詳細(xì)介紹
SID4 R-CUBE 為一臺(tái)集成式照明模塊，可配合SID4系列波前位相傳感器構(gòu)成雙光路光學(xué)元件測(cè)試系統(tǒng)。SID4 R-CUBE提供高品質(zhì)的準(zhǔn)直光源照明（可選擇透鏡構(gòu)成匯聚/發(fā)散光源），并可直接連接至SID4系列傳感器?？捎糜诖罂趶狡矫婕扒骁R片，透鏡組件的測(cè)試及校準(zhǔn)。
照明及光路組件SID4 R-CUBE主要特征：
l <20nm rms 精度
l <2nm rms 分辨率
l 震動(dòng)不敏感
l 緊湊尺寸
l 用戶可選照明波長(zhǎng)
l 與平移臺(tái)/ 旋轉(zhuǎn)臺(tái)/ 傾斜臺(tái)兼容
照明及光路組件SID4 R-CUBE主要參數(shù)：
兼容傳感器 | SID4, SID4 HR, SID4 SWIR |
光束直徑 | 與傳感器入瞳直徑匹配 |
光源波長(zhǎng) | 635，780，808，1064，1550，1650nm可選 |
光源質(zhì)量 | <20nm rms (635 - 808nm) <30nm rms (1064 - 1650nm) |
雙光路參考鏡片質(zhì)量 | λ/20 P-V (633nm) |
位相分辨率（噪聲） | <2nm rms |
測(cè)試方法圖示：
l 用于自適應(yīng)光學(xué)中消除分析臂的望遠(yuǎn)鏡像差
1：SID4 位相傳感器；2：SID4 R-CUBE模塊；3：擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡。
l 大口徑平面鏡測(cè)試
l 雙光路鏡頭品質(zhì)測(cè)試：鏡頭，物鏡，望遠(yuǎn)鏡...任意尺寸與放大率
l 凹面鏡測(cè)試
圖例：1. SID4 波前傳感器；2. SID4 R-CUBE照明模塊；3. 望遠(yuǎn)鏡/ 擴(kuò)束鏡；4. 待測(cè)（平）表面；5. 待測(cè)光學(xué)元件；6. 參考凹面鏡；7. 物鏡（光束變換用）；8. 待測(cè)凹面鏡
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