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CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2022-09-01 16:47:56瀏覽次數(shù):254

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:該款CVD系統(tǒng),采用開啟式結(jié)構(gòu)單溫區(qū),加熱元件為電阻絲(1200℃以下使用)

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品介紹:

該款CVD系統(tǒng), 采用開啟式結(jié)構(gòu)單溫區(qū),加熱元件為電阻絲(1200℃以下使用)。

CVD管式爐由供氣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等組成;

1)加熱系統(tǒng)可以分單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)等;

2)真空系統(tǒng)可分為低真空和高真空,極限真空可以達(dá)到10-4Pa(分子泵組);

3)供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)用戶可選質(zhì)量流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)用戶可選2路、3路、4路、5路、6路等相混合(主要根據(jù)客戶工藝要求定制);

爐底(可選)配安裝一對滑軌,可用手滑動(主要適用于1200℃以下加裝滑軌)??梢赃_(dá)到快速升降溫的目的,為取得加熱速率,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動爐子到樣品區(qū)??稍跇悠芳訜岷笠苿訝t子到另一端,實(shí)現(xiàn)快速降溫功能。

產(chǎn)品用途:

應(yīng)用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。

產(chǎn)品功能及特點(diǎn):

1、 1200℃爐蓋可打開,可以隨時(shí)觀察加熱的物料,并能迅速降溫,滿足材料急冷急熱的實(shí)驗(yàn)需要;

2、 爐膛采用*真空吸附成型的高純氧化鋁多晶纖維制成,保溫效果好,耐用節(jié)能,反射率高、溫場均衡,等特點(diǎn);

3、1)、加熱元件采用高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,發(fā)熱溫度可達(dá)1200℃;

4、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì),流量顯示儀等組成,實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。

5、爐管采用高純石英管高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小,能承受急冷急熱的溫度。

6、采用KF快速法蘭密封,僅需要一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能。

7、預(yù)留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

8、我司可預(yù)留485轉(zhuǎn)換接口,可通過我部的軟件,與計(jì)算機(jī)互聯(lián),可實(shí)現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能;可安裝無紙記錄裝置,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出;

9、加熱采用上蓋開啟式,超溫和斷偶保護(hù)警報(bào)并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠。

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