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紫外臭氧清洗儀HWUVO系列

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山東瀚文儀器儀表有限公司

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產(chǎn)品簡介

紫外臭氧清洗機(jī)HWUVO-3/HWUVO-6/HWUVO-9型儀器簡介紫外臭氧清洗機(jī)是一款用于無機(jī)基材（比如：石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等）表面有機(jī)污染物去除的表面清洗設(shè)備

詳細(xì)介紹

紫外臭氧清洗機(jī)

HWUVO-3/HWUVO-6/HWUVO-9型

儀器簡介

紫外臭氧清洗機(jī)是一款用于無機(jī)基材（比如：石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等）表面有機(jī)污染物去除的表面清洗設(shè)備。

低壓紫外汞燈能夠同時(shí)發(fā)射波長254nm和185nm的紫外光，在這兩種短波紫外光的照射下，活化有機(jī)物分子與活性氧原子發(fā)生氧化反應(yīng)，生成揮發(fā)性氣體逸出樣品表面，從而清除粘附在樣品表面上的有機(jī)污染物。

應(yīng)用領(lǐng)域

1、PCBA（印制電路板）生產(chǎn)中進(jìn)行光清洗后，可以提高導(dǎo)線焊接時(shí)熔焊的接觸面積，增加連接強(qiáng)度，進(jìn)而提高印制電路板的質(zhì)量；

2、LCD、OLED生產(chǎn)中進(jìn)行光清洗后，可以提高基體表面潤濕性，進(jìn)而增強(qiáng)基體表面的粘合力；

3、集成電路領(lǐng)域，光清洗可以實(shí)現(xiàn)表面的原子清潔度，而且對(duì)芯片表面不會(huì)造成損傷；

4、可用于提高半導(dǎo)體粘合力、清洗彩色濾光片表面有機(jī)污染物、提高光學(xué)玻璃鍍膜質(zhì)量等場景；

5、對(duì)清除石蠟、松香、油脂、人體體油、殘余光刻膠、環(huán)氧樹脂、焊劑；以及帶有氧化膜的金屬表面處理，去除導(dǎo)電聚酰亞胺粘合劑上的有機(jī)污染物，光清洗都是十分有效的方法。

功能特點(diǎn)

1.1采用5寸彩色觸摸屏控制，可自主設(shè)定運(yùn)行時(shí)間、加熱溫度、氣路流量等流程參數(shù)；

1.2加熱、升降一體式樣品臺(tái)，升降行程50mm, 便于樣品與UV燈間距的調(diào)整；

1.3樣品臺(tái)恒溫控制，智能PID溫度調(diào)節(jié)，設(shè)置范圍RT~200℃, 控溫精度±1℃；

1.4流量、加熱、UV燈分別自動(dòng)單獨(dú)控制啟閉，處理過程中可手動(dòng)中斷；

1.5組合式處理方式，可自由選擇：是否啟用樣品臺(tái)加熱功能、打開供氧氣路；

1.6自動(dòng)儲(chǔ)存清洗參數(shù)設(shè)置，并生成歷史記錄，避免實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)遺忘；

1.7安全可靠，設(shè)備運(yùn)行過程中，清洗倉倉蓋打開時(shí)自動(dòng)關(guān)閉UV燈，并彈窗提示，避免紫外線傷害；

1.8標(biāo)配流量數(shù)字化顯示(可接入氧氣或臭氧),可調(diào)節(jié)氣路供氣流量；

1.9上置式樣品臺(tái)及上翻式開蓋設(shè)計(jì)，取放樣品方便，操作簡單快捷；

1.10波長254nm和185nm雙波UV燈源，燈管壽命約為8000小時(shí)，配備UV反光罩使樣品照射均勻化；

1.11一鍵化操作，減少工作強(qiáng)度。

技術(shù)參數(shù)

儀器型號(hào)	UVO-3	UVO-6		UVO-9
外觀圖片
柵格燈尺寸/mm	220*270	130*130		230*230
樣品臺(tái)尺寸/mm	220*270	150*150		220*270
樣品臺(tái)升降行程/mm	50	50		50
加熱溫度范圍/℃	室溫-200℃
流量范圍(ml/min)	選配	0-1000		0-1000
*外形尺寸(LWH)/mm*	450390270	445300245		500360250
主機(jī)重量/kg	10	11.5		15
UV光波長	185nm、254nm
UV燈管	雙波長燈管		一體式低壓汞蒸氣柵格燈
燈管壽命	約5000小時(shí)		約8000小時(shí)
機(jī)身材質(zhì)	304不銹鋼、塑料		304不銹鋼和氧化鋁
安全防護(hù)功能	--		倉蓋打開時(shí)，燈管自動(dòng)熄滅