臭氧（O₃）污水處理技術(shù)于1905年應(yīng)用于水處理，隨著相關(guān)技術(shù)的進步，臭氧化法成本的降低，被普遍認為是很有發(fā)展前景的水處理方法。臭氧具有*的氧化性，其氧化作用機理目前尚無肯定的研究結(jié)論，通常認為主要來自臭氧離解的OH自由基，它是發(fā)生在水中的已知氧化劑中最活潑的氧化劑，它很容易通過基型反應(yīng)將各種類型的有機物氧化。OH自由基還可與其他物質(zhì)如苯衍生物等形成二次氧化基，它還能將碳酸鹽或種碳酸鹽離子氧化成可起三次氧化劑作用的碳酸根或重碳酸根，臭氧分子可離解成過氧化物離子的過羥基。

臭氧化法的主要工藝

臭氧（O₃）水處理工藝類型很多，主要有以下幾種類型：①臭氧（O₃）+生物活性炭法，②臭氧（O3）+混凝法，③臭氧（O3）+活性炭吸附法，④臭氧（O3）+活性污泥法，⑤臭氧（O3）+膜處理法，⑥臭氧（O3）+超聲波法。

臭氧（O3）+生物活性炭法主要過程是：先往水中投加臭氧，其強氧化性使復(fù)雜有機物分子斷鏈成小分子，從而易于生物降解，同時提高了水中溶解氧濃度。然后再進入生物活性炭裝置，易降解有機物被活性炭富集，經(jīng)好氧微生物氧化分解為CO2和H2O等。該工藝的特點是臭氧預(yù)處理提高了污水的可生化性，有機物的富集和富氧提高了生化反應(yīng)速度；活性炭上的有機物生長降解又可恢復(fù)活性炭吸附性能。

臭氧（O3）+混凝法基于臭氧（O3）對親水性物質(zhì)強烈的破壞力，當(dāng)親水性物質(zhì)轉(zhuǎn)變成疏水性時，混凝沉淀效果將大大改善。

臭氧（O3）+活性炭吸附法是指：由于活性炭微孔孔隙小，限制了對大分子物質(zhì)的吸附，臭氧（O3）可破壞物質(zhì)分子結(jié)構(gòu)，形成小分子，增大活性炭吸附容量。

 臭氧（O3）+活性污泥法的作用如同生物活性炭法，目的在于提高污水的可生化性。

 臭氧（O3）+膜處理法，臭氧（O3）常用在超濾（UF）的后處理上。

臭氧（O3）+超聲波處理法，超聲功率的增大可增加反應(yīng)速度，臭氧（O3）通入量增大可加深生物反應(yīng)程度，提高復(fù)雜有機物去除率。

臭氧單元處理主要是催化氧化法，如堿催化氧化、光催化氧化和多項催化氧化等，具體處理方法有：①臭氧（O3）/H2O2，②臭氧（O3）/UV（紫外光），③臭氧（O3）/固體催化劑（金屬及其氧化物，活性炭等）。從反應(yīng)機理看：①屬于堿催化臭氧化，②屬于光催化臭氧化，③屬于多項催化臭氧化。

堿催化臭氧化反應(yīng)的途徑是：通過OH-催化，生成-OH自由基，再氧化分解有機物，-OH基產(chǎn)生過程如下：

O3+OH→O2+HO2，O3+O2→O3+O2，O3+H+→HO3→OH +O2

光催化氧化是以紫外線為能源，以臭氧為氧化劑，利用臭氧在紫外線照射下生成的活潑次生氧化劑來氧化有機物。

利用光催化臭氧化法處理難降解有機物污水時，部分難降解有機物在紫外光照射下，提高了能級，處于激發(fā)狀態(tài)，與OH基發(fā)生羥基化反應(yīng)，生成易于生物降解的新物質(zhì)。

多相催化臭氧化是近幾年發(fā)展起來的新技術(shù)，其金屬催化的目的是促進臭氧（O3）的分解，以產(chǎn)生活潑的-OH自由基強化其氧化作用，常用的催化劑有CuO、Fe3O3、NiO、TiO2、Mn等。