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FMS115Z-150H

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更新時(shí)間：2023-03-05 11:41:20瀏覽次數(shù)：171次

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產(chǎn)品簡介

最小運(yùn)動(dòng)增量50nm

詳細(xì)介紹

電動(dòng)位移臺(tái)選購指南 Feinixs系列產(chǎn)品命名規(guī)則位移控制基本概念

FMS115Z-150H

(1) 最小運(yùn)動(dòng)增量50nm
(2) 無鐵芯直線電機(jī)，反應(yīng)靈敏，滿負(fù)載加速度可達(dá)2000mm/s²
(3) ，適用于高精密環(huán)境

詳細(xì)規(guī)格參數(shù)

產(chǎn)品型號	FMS115Z-150H
行程（mm)	150
負(fù)載(Kg）	10
分辨率（um)	0.01
最小運(yùn)動(dòng)增量(um)^【1】	0.05
*單向重復(fù)定位精度/保證值(um)**	±0.1
*單向重復(fù)定位精度/典型值(um)**
*雙向重復(fù)定位精度/保證值(um)**	±0.3
*雙向重復(fù)定位精度/典型值(um)**
*準(zhǔn)確度/保證值(um)**	±1
*準(zhǔn)確度^【2】/典型值(um)**
速度（mm/s)	50
直線度(um)	2
平整度(um)	2
Yaw-偏擺(")^【3】	5
Pitch俯仰（"）	5
持續(xù)推力（N)	20
峰值推力（N）	72
外形尺寸(mm)	320X115X50
臺(tái)面尺寸（mm)	115X115
[1]：最小運(yùn)動(dòng)增量不等同于分辨率，最小運(yùn)動(dòng)增量是指運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動(dòng)的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠(yuǎn)小于最小運(yùn)動(dòng)增量?？紤]傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機(jī)位移臺(tái)與步進(jìn)電機(jī)位移臺(tái)相比，其最小運(yùn)動(dòng)增量更加接近于分辨率。 [2]：準(zhǔn)確度和重復(fù)定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的區(qū)分這兩個(gè)概念。 [3]：只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數(shù)都達(dá)到高水準(zhǔn)要求，運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的準(zhǔn)確度、重復(fù)定位精度才能達(dá)到高精度水平。也就是說，客戶一般只需要考慮準(zhǔn)確度與重復(fù)定位精度是否滿足應(yīng)用需求就可以選擇到滿意的位移平臺(tái)。當(dāng)客戶對平臺(tái)運(yùn)動(dòng)有更高要求時(shí)，非軸向參數(shù)是需要考慮的。 *：典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南