詳細摘要: 從SEM觀察條件到1μA量級,在各種束流條件下都擁有空間分辨率的場發(fā)射電子光學系統(tǒng)。結合島津傳統(tǒng)的高性能X射線譜儀,將分析性能發(fā)。
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