【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
ContourGT-K 三維光學(xué)輪廓儀具有完善的表面測(cè)量和分析功能，擁有工業(yè)的測(cè)量性能和靈活性。采用白光干涉技術(shù)，超大視野內(nèi)埃級(jí)至毫米級(jí)的垂直計(jì)量量程，具有業(yè)界的垂直分辨率和測(cè)量重復(fù)性。其直觀的用戶界面方便用戶快速高效的獲得材料表面粗糙度、二維 / 三維表面輪廓以及多種高精度數(shù)據(jù)，廣泛應(yīng)用于 IC 半導(dǎo)體、LED、太陽(yáng)能電池、薄膜材料、MEMS、精密機(jī)械零部件、摩擦磨損等各個(gè)領(lǐng)域，滿足各種表面測(cè)量的實(shí)際需求。
【主要應(yīng)用】
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測(cè)量；
2、 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機(jī)械加工部件等領(lǐng)域的測(cè)量。
【主要參數(shù)】
垂直量程 | 0.1nm 至 10mm（閉環(huán)無(wú)拼接） |
垂直分辨率 | 0.1nm |
電動(dòng)樣品臺(tái)移動(dòng)范圍 | ±150mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動(dòng) |
橫向取樣間隔 | 0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 ) |
光學(xué)橫向分辨率 | 350nm |
臺(tái)階測(cè)試精度 | 0.75% |
臺(tái)階重復(fù)性 | <0.1% 1σ |
傾斜調(diào)整 | 手動(dòng)樣品臺(tái)調(diào)節(jié) ± 6° |
垂直掃描速度 | 47um / 秒，用戶可自行設(shè)定 |
轉(zhuǎn)塔調(diào)節(jié) | 手動(dòng)自動(dòng)可選 |
分析軟件功能 | 可進(jìn)行兩維和三維分析，多區(qū)域自動(dòng)分析（可對(duì)目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行統(tǒng)計(jì)編號(hào)，可自動(dòng)分析目標(biāo)區(qū)域內(nèi)高度或深度分布情況），可分析表面粗糙度，可分析樣品表面缺陷及臺(tái)階高度， 并可對(duì)多次測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，得到詳細(xì)的統(tǒng)計(jì)報(bào)告（含平均值，方差，最小值，值等）?？蛇M(jìn)行編程自動(dòng)多點(diǎn)測(cè)量?？商峁┑臄?shù)據(jù)包括高逼真度的三維圖像，二維剖面圖， 以及大量完整的表面粗糙度參數(shù)。 |
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