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北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG 770納米壓印系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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更新時(shí)間：2024-04-27 07:10:17瀏覽次數(shù)：80次

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EVG770是一款用于分步和重復(fù)工作的紫外納米壓印設(shè)備，能有效在襯底上制作復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。通常用于晶圓級光學(xué)的制造和EVG SmartNIL工藝所需的母版。

產(chǎn)品簡介：

EVG770是一款用于分步和重復(fù)工作的紫外納米壓印設(shè)備，能有效在襯底上制作復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。通常用于晶圓級光學(xué)的制造和EVG SmartNIL工藝所需的母版。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·支持12英寸（300mm）晶圓

·分辨率可達(dá)50nm（取決于模版和工藝條件）

·可選cassette-to-cassette上下料

EVG 610（NIL）納米壓印系統(tǒng)

EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備

EVG 620NT（NIL）納米壓印系統(tǒng)

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

EVG 720納米壓印系統(tǒng)

EVG720是一款全自動化的紫外納米壓印設(shè)備，能在大面積、高產(chǎn)量、低成

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