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北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG 520 HE熱壓印系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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更新時(shí)間：2024-04-27 07:11:22瀏覽次數(shù)：82次

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EVG 520 HE是一款基于EVG520設(shè)備的半自動(dòng)熱壓印設(shè)備，適用于所有聚合物，可應(yīng)用于高質(zhì)量的納米圖形轉(zhuǎn)移。相比EVG 510 HE可提供更大的壓力。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EVG 520 HE是一款基于EVG520設(shè)備的半自動(dòng)熱壓印設(shè)備，適用于所有聚合物，可應(yīng)用于高質(zhì)量的納米圖形轉(zhuǎn)移。相比EVG 510 HE可提供更大的壓力。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·支持8英寸（200mm）晶圓

·自動(dòng)壓印并具有氣動(dòng)脫模功能

·壓力：100KN

·溫度：350℃（可選配至550℃）

·真空度：0.1mbar（可選配至10-5mbar）

EVG 610（NIL）納米壓印系統(tǒng)

EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備

EVG 620NT（NIL）納米壓印系統(tǒng)

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

EVG 720納米壓印系統(tǒng)

EVG720是一款全自動(dòng)化的紫外納米壓印設(shè)備，能在大面積、高產(chǎn)量、低成

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