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亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG 7200納米壓印系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

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更新時間：2024-04-27 07:14:43瀏覽次數(shù)：125次

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EVG7200是一款全自動化的紫外納米壓印設備，相比EVG720可適用于更大尺寸的基板，能在大面積、高產(chǎn)量、低成本的條件下加工出高精度的納米結構，非常適合于下一代微流控器件、光學器件，例如光學衍射元件（DOE）。

產(chǎn)品簡介：

EVG7200是一款全自動化的紫外納米壓印設備，相比EVG720可適用于更大尺寸的基板，能在大面積、高產(chǎn)量、低成本的條件下加工出高精度的納米結構，非常適合于下一代微流控器件、光學器件，例如光學衍射元件（DOE）。

 

主要特點及參數(shù)：

·支持8英寸（200mm）晶圓

·分辨率可達40nm（取決于模版和工藝條件）

·專有的適用于SmartNIL的多用途聚合物軟板技術

EVG 610（NIL）納米壓印系統(tǒng)

EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機的紫外納米壓印設備

EVG 620NT（NIL）納米壓印系統(tǒng)

主要特點及參數(shù)：

EVG 720納米壓印系統(tǒng)

EVG720是一款全自動化的紫外納米壓印設備，能在大面積、高產(chǎn)量、低成

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