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亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG 7200納米壓印系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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更新時(shí)間：2024-04-27 07:14:43瀏覽次數(shù)：84次

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EVG7200是一款全自動(dòng)化的紫外納米壓印設(shè)備，相比EVG720可適用于更大尺寸的基板，能在大面積、高產(chǎn)量、低成本的條件下加工出高精度的納米結(jié)構(gòu)，非常適合于下一代微流控器件、光學(xué)器件，例如光學(xué)衍射元件（DOE）。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EVG7200是一款全自動(dòng)化的紫外納米壓印設(shè)備，相比EVG720可適用于更大尺寸的基板，能在大面積、高產(chǎn)量、低成本的條件下加工出高精度的納米結(jié)構(gòu)，非常適合于下一代微流控器件、光學(xué)器件，例如光學(xué)衍射元件（DOE）。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·支持8英寸（200mm）晶圓

·分辨率可達(dá)40nm（取決于模版和工藝條件）

·專有的適用于SmartNIL的多用途聚合物軟板技術(shù)

EVG 610（NIL）納米壓印系統(tǒng)

EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備

EVG 620NT（NIL）納米壓印系統(tǒng)

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

EVG 720納米壓印系統(tǒng)

EVG720是一款全自動(dòng)化的紫外納米壓印設(shè)備，能在大面積、高產(chǎn)量、低成

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