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亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG 6200NT（NIL）納米壓印系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

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更新時(shí)間：2024-04-27 07:15:55瀏覽次數(shù)：135次

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EVG 6200NT（NIL）是一款基于EVG620NT光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備，基于Smart NIL掩膜對準(zhǔn)技術(shù)

產(chǎn)品簡介：

EVG 6200NT（NIL）是一款基于EVG620NT光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備，基于Smart NIL掩膜對準(zhǔn)技術(shù)

 

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·支持8英寸（200mm）晶圓

·分辨率可達(dá)40nm（取決于模版和工藝條件）

·支持汞燈或的UV-LED光源

·可選配功能：

鍵合對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

SmartNIL

微接觸印刷

EVG 610（NIL）納米壓印系統(tǒng)

EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備

EVG 620NT（NIL）納米壓印系統(tǒng)

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

EVG 720納米壓印系統(tǒng)

EVG720是一款全自動化的紫外納米壓印設(shè)備，能在大面積、高產(chǎn)量、低成

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