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更新時(shí)間：2024-04-27 07:15:55瀏覽次數(shù)：342次
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EVG 6200NT（NIL）是一款基于EVG620NT光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備，基于Smart NIL掩膜對(duì)準(zhǔn)技術(shù)
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·分辨率可達(dá)40nm（取決于模版和工藝條件）
·支持汞燈或的UV-LED光源
·可選配功能：
鍵合對(duì)準(zhǔn)
紅外對(duì)準(zhǔn)
SmartNIL
微接觸印刷
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