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當(dāng)前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>晶圓鍵合系統(tǒng)>> EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG GEMINI是一款全自動多腔室晶圓鍵合工藝平臺，實(shí)現(xiàn)了高程度的集成度和自動化，適用于大型量產(chǎn)。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·最多兼容4個鍵合腔室和6個預(yù)處理腔室
·兼容底部對準(zhǔn)、紅外對準(zhǔn)以及SmartView對準(zhǔn)
·可選配模塊：
低溫等離子體活化
晶圓清洗
涂膠模塊
UV固化模塊
烘烤/冷卻模塊
對準(zhǔn)驗(yàn)證模塊
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