臺(tái)式光學(xué)顯微鏡與落地式SEM之間的空白區(qū)域，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。

組成：

真空系統(tǒng)：一般采用機(jī)械泵與分子泵聯(lián)動(dòng)

電子槍：一般為CeB6（ 六硼化鈰）或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時(shí)，需頻繁更換，CeB6燈絲壽命超過(guò)1500小時(shí)，且亮度更高。目前尚沒(méi)有采用 場(chǎng)發(fā)射（Field Emission）的臺(tái)式掃描電鏡。

電磁透鏡

探測(cè)器： 背散射電子或二次電子探測(cè)器，可選配EDS

特點(diǎn)：

放大倍數(shù)高（相對(duì)光學(xué)顯微鏡）

成像速度快

大景深

體積小巧

操作簡(jiǎn)便

價(jià)格便宜

應(yīng)用：

臺(tái)式掃描電鏡可以滿足絕大多數(shù)傳統(tǒng)SEM用戶的需求，其應(yīng)用領(lǐng)域極其廣泛，包括：粉末、金相、制藥、造紙、半導(dǎo)體、微電子、生命科學(xué) ……