安徽歌博科技A500型干泵氦質譜檢漏儀，靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結果。

產品廣泛應用于科研院所、航空航天、半導體、半導體氣柜，光伏等行業(yè)。

功能描述

支持正壓檢漏，負壓檢漏

自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果

優(yōu)化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應

高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦

支持氮氣破空，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底

機器的性能支持7*24小時長時間在線測試

機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試

配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質，確保機器不受雜質影響和損傷

雙銥絲離子源，有效的系統設計，防大氣沖擊

支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用

技術參數

最小可檢漏率（負壓模式）            5×10-13Pa?m3/s 

最小可檢漏率（正壓模式）            5×10-9Pa?m3/s

檢漏口壓強           粗檢        1500Pa

                  中檢        200Pa

                  精檢        40Pa

響應時間                       ＜0.5s

啟動時間                       ≤2min

前級油泵抽速                     14.5m3/h(4L/s)  

外形尺寸（W×D×H）                845×465×988

重量                          75Kg

尺寸圖

常見泄漏率

檢漏方法示意圖