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產品概述：
這種氣路控制系統(tǒng)適用于控制一種到三種氣體的通入，管式爐可以放在它上面，結合科晶集團的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
混氣系統(tǒng)3路浮子GSL-3F 三種不同量程的浮子流量計，控制精度4% ·A：10 - 100mL/min ·B：16 - 160mL/min ·C：25 - 250mL/min ·-0.1-0.15 Mpa ·在混氣系統(tǒng)右側安裝三個氣體進口 ·兩通道氣體流入氣體混合罐，另一個通道氣體不通過氣體混合管（請參考說明書，也可另行定制，銷售） ·兩個出口（可連接科晶管式爐）安裝在混氣系統(tǒng)的左側（一路混合氣體和一路單獨的氣體） ·12"長1/4"直徑的聚四氟管及快插接頭 ·采用ss304不銹鋼 ·安裝在混氣系統(tǒng)的右側 外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H CVD或者PECVD 液相氣體發(fā)生器 約75 Kg 一年保修，終身技術支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 ntentId=41.html">名稱 浮子流量計 機械壓力表（混氣罐） 接頭和氣管 真空針閥 安裝帶剎車的轉向輪 可選 凈重 質保期
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。
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環(huán)保在線