序號

部件名稱

主要技術參數(shù)

數(shù)量

單位

1

柱塞計量泵

美國SSI Series I
出口流量0.01-4.99mL/min。

3

臺

2

氣體質(zhì)量流量控制器

北京七星D07，流量5L/min。型號D07-11C

3

臺

3

單向閥-緩沖罐組

316L不銹鋼材質(zhì)。外徑約56mm，高度約170mm

3

套

4

加熱爐

雙半圓開式爐，爐膛內(nèi)徑20mm，長度為1000mm。設計溫度600℃，三溫區(qū)控溫。爐外殼材質(zhì)為304不銹鋼。

2

臺

5

反應管

外徑20mm內(nèi)徑9mm的316L不銹鋼管2根，
長度為800mm。設計溫度600℃，設計壓力10MPa

2

批

6

冷凝罐-接收罐組

316L不銹鋼材質(zhì)。罐體外徑約73mm，
高度約110mm。配循環(huán)冷卻水接頭

2

套

7

閥門、接頭、管件

全套閥門、卡套接頭采用美國FITOK，316材質(zhì)。背壓閥采用美國Swagelok，316材質(zhì)。配置乙炔、氫氣報警器。

1

批

8

電控箱

控制兩路氣體質(zhì)量流量，并控制汽化器、加熱爐的溫度。采用廈門宇電程序控溫儀表。

1

個

9

支架

采用304不銹鋼方管和不銹鋼拉絲板焊接制作臺式支架

1

個

10

報警器

配置氫氣、乙炔報警器

1

臺