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江蘇宏玨科技有限公司

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1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)--OTF-1200X-80-III-F3LV 實驗室臭氧發(fā)生機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時間:2022-11-04 09:33:14瀏覽次數(shù):277次

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產(chǎn)品詳細介紹;  OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到10-2torr

  產(chǎn)品詳細介紹;

  OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到 10-2 torr。

  技術(shù)參數(shù):

 

殼體結(jié)構(gòu)

· 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風冷,使得殼體的表面溫度小于60度

· 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環(huán)保節(jié)能

· 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

· 可開啟式,更換爐管方便

功率

5 KW

電壓

AC 208-240V單相, 50/60 Hz

加熱元件

 Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

工作溫度

  1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

加熱速率

  ≤20  ℃/min

石英管&

密封法蘭

· 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi)

· 
儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門

 

加熱區(qū)長度

· 三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total)

· 溫區(qū) 1: 220mm  (8.6" )  

· 溫區(qū) 2: 440mm  (17.3")

· 溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系 

溫控系統(tǒng)

 

· 三個精密溫度控制器,可獨立控溫

· PID控制方式,通過PWM固體繼電器。

· 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀,并可設(shè)置30段升降溫程序.

· 帶有過熱和斷偶保護功能

控溫精度

+/- 1℃

真空密封系統(tǒng)

· 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥).

· 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵,真空度可以達到10-4 torr.

· 漏氣率 < 5 m-torr / min

 

真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米

 

數(shù)字式真空顯示計


可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換

 


氣體流量計和壓力表

 

· 三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流          

· 三路浮子量程分別為

· 10-100 cc/min.

· 16-160 cc/min.

· 25-250 cc/min

· 內(nèi)部安裝有一混氣罐

· 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力

閥門

四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,用于控制氣體的流量

外形尺寸

· 爐子: 1100 X 450 x 670mm

· 底部移動架: 600x600x597mm

開門斷電

· 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計

 

    

凈重

· 約90Kg

運輸重量

·  245lbs

質(zhì)保期

· 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

質(zhì)量認證

·  CE certified

使用注意事項

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度<1100℃

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

 

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