| 徠卡白光共聚焦干涉顯微鏡-Leica DCM8性能 | ||||||||
| • 采用了全新的非接觸式三維光學表面測量技術 • 提供明視場模式和暗視場模式，具有優(yōu)質(zhì)的準確度和可重復性 • 功能多樣，準確性高，滿足您*的表面測量要求 • 通過高清（HD）共聚焦顯微技術實現(xiàn)優(yōu)質(zhì)橫向分辨率、斜率求解和成像 • 通過高清干涉測量技術實現(xiàn)高達0.1nm的優(yōu)質(zhì)縱向分辨率 • 通過明場和暗場顯微鏡方便的實現(xiàn)圖像攝取 • 四盞RGB高清彩色成像LED，應用范圍更廣 • 可使用三種方法測量厚薄不同的薄膜 • 配置和物鏡適用于觀測的樣品 • 快速、簡單、耐用，省時省力，節(jié)約資金，實現(xiàn)優(yōu)質(zhì)結(jié)果 • 無需準備樣品和切換儀器 • 數(shù)字高清共聚焦掃描快速、可靠 • 通過大視場和形貌拼接快速攝取大表面 • 直觀的2D和3D軟件，適用于數(shù)據(jù)采集和分析 |  | |||||||
| 徠卡白光共聚焦干涉顯微鏡-Leica DCM8技術參數(shù) | ||||||||
| 系統(tǒng) | Leica DCM8技術參數(shù) | |||||||
| 測量原理 | 非接觸式3D雙核光學成像輪廓測定法（共聚焦和干涉測量） | |||||||
| 功能 | 高清成像、高清3D形貌、輪廓、坐標、厚度、粗糙度、體積、表面紋理、光譜分析、色譜分析等 | |||||||
| 對比度模式 | 高清共聚焦、高清干涉測量（PSI、ePSI、VSI）、高清明場彩色、明場、暗場、實時高清RGB共聚焦 | |||||||
| 樣品高度 | 標準型：40mm；包括可調(diào)立柱：高150mm；根據(jù)要求可提供更高的樣品高度 | |||||||
| 物鏡 | 共聚焦、明場和暗場模式下，放大倍率1.25X至150X；干涉測量模式下，放大倍率5X至50X | |||||||
| 物鏡轉(zhuǎn)盤 | 6位手動式物鏡轉(zhuǎn)盤/6位電動式物鏡轉(zhuǎn)盤 | |||||||
| 載物臺掃描范圍 （X、Y、Z） | 垂直：Z=40mm；水平：XY=100x75mm（標準），或=300x300mm，根據(jù)要求， 可提供更大的載物臺 | |||||||
| 垂直掃描范圍 | 共聚焦40mm，PSI20μm、ePSI100μm、VSI10mm | |||||||
| 照明 | LED光源：紅色（630nm），綠色（530nm），藍色（460nm）和白色 | |||||||
| 圖像采集 | CCD黑白傳感器：1360x1024像素（全分辨率）；黑白35FPS | |||||||
| 樣品反射率 | 0.1%-99% | |||||||
| 尺寸和重量 | 長x寬x高=573x390x569mm；重量：48kg | |||||||
| 工作條件 | 溫度：10℃至35℃；相對濕度（HR）＜80%；海拔高度＜2000m | |||||||
| 隔振 | 有源或無源 | |||||||
| 再現(xiàn)性（50X放大倍率） | 共聚焦/VSI：誤差=0.003μm（3nm）；PSI：誤差=0.16nm（0.00016μm） | |||||||
| 準確度（20X放大倍率） | 開環(huán)：相對誤差＜3%；閉環(huán)：誤差＜20% | |||||||
| 共聚焦模式 | ||||||||
| 物鏡放大倍率 | 1.25X | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| 數(shù)值孔徑 | 0.04 | 0.07 | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.9 | 0.95 | 0.95 |
| 視場（μm） | 14032x10560 | 7016x5280 | 3508x2640 | 1754x1320 | 877x660 | 351x264 | 175x132 | 117x88 |
| 光學分辨率（X/Y）（μm） | 35 | 20 | 0.94 | 0.47 | 0.28 | 0.16 | 0.14 | 0.14 |
| 縱向分辨率（nm） | ＜3000 | ＜350 | ＜150 | ＜30 | ＜15 | ＜5 | ＜2 | ＜2 |
| 典型測量時間 | 3-5s | |||||||
| 干涉測量模式 | ||||||||
| 物鏡放大倍率 | - | - | 5X | 10X | 20X | 50X | - | - |
| 數(shù)值孔徑 | - | - | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.5 | - | - |
| 視場（μm） | - | - | 3508x2640 | 1754x1320 | 677x660 | 351x264 | - | - |
| 光學分辨率藍光（X/Y）（μm） | - | - | 0.94 | 0.47 | 0.35 | 0.28 | - | - |
| 光學分辨率白光（X/Y）（μm） | - | - | 1.12 | 0.56 | 0.42 | 0.33 | - | - |
| 縱向分辨率（nm） | - | - | PSI＜0.1；ePSI＜1.0；VSI＜3.0 | - | - | |||
| 垂直掃描速度（μm/s） | - | - | VSI/ePSI：2.4-17μm/s | - | - | |||
| 典型測量時間 | - | - | PSI：3-6s；VSI：10s；ePSI：30s | - | - | |||
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