1600℃真空氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF）
產(chǎn)品特點(diǎn)
產(chǎn)品特點(diǎn)
提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域
此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成，溫場(chǎng)均勻節(jié)能50%以上
自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果
啟動(dòng)電爐，排溫風(fēng)機(jī)同時(shí)自動(dòng)運(yùn)行，試驗(yàn)結(jié)束后，排溫風(fēng)機(jī)將繼續(xù)運(yùn)行，直至爐體溫度低于60℃，排溫風(fēng)機(jī)自行停止，有效保護(hù)了爐體表面
爐門(mén)開(kāi)啟自動(dòng)斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能，以確保使用的安全性
電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強(qiáng)弱電單獨(dú)走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性
加熱模塊采用直流信號(hào)調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應(yīng)電對(duì)控制信號(hào)的干擾
操作按鍵選用低壓金屬按鈕，自帶狀態(tài)指示燈，操作安全直觀
上下?tīng)t體采用航空插頭連接方式，連接安全可靠方便
氣路總成采用食品級(jí)316不銹鋼制成，具有耐蝕性，耐大氣腐蝕性和耐高溫強(qiáng)度好，無(wú)磁性
采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復(fù)性好，相應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。（氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)）
自動(dòng)控制與手動(dòng)控制切換功能，自動(dòng)控制模式能通過(guò)設(shè)定值自動(dòng)開(kāi)啟/關(guān)閉真空泵，使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動(dòng)控制模式使用用戶通過(guò)真空泵開(kāi)啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實(shí)驗(yàn)的需要。（中真空控制系統(tǒng)）
電磁閥緩啟動(dòng)技術(shù)，使電磁閥在真空泵開(kāi)啟10秒鐘后打開(kāi)，使?fàn)t管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準(zhǔn)確，也保證了廢氣不會(huì)返回到爐管系統(tǒng)影響實(shí)驗(yàn)效果（中真空控制系統(tǒng)）
安全性
過(guò)升報(bào)警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復(fù)電延時(shí)。
采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。
采用混氣罐裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會(huì)泄露。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù)
| 溫區(qū) | 單溫區(qū) | 雙溫區(qū) | ||||||
| 型號(hào) | CVD-TF16P50 | CVD-TF16P60 | CVD-TF16P80 | CVD-TF16P100 | CVD-TF16P60S | CVD-TF16P80S | CVD-TF16P100S | |
| CVD-TF16T50 | CVD-TF16T60 | CVD-TF16T80 | CVD-TF16T100 | CVD-TF16P60S | CVD-TF16T80S | CVD-TF16T100S | ||
| 性能 | 使用溫度范圍 | 300~1600℃ | ||||||
| 溫度分辨率 | 1℃ | |||||||
| 控溫精度 | ±1℃ | |||||||
| 升溫速率 | 0~20℃/min | |||||||
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 260mm | 600mm | ||||||
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 120mm | 300mm | ||||||
| 真空度 | -0.1MPa | |||||||
| 空爐升溫時(shí)間 | ＜15min | |||||||
| 構(gòu)成 | 外裝 | 冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝 | ||||||
| 爐膛體 | 多晶莫來(lái)石纖維 | |||||||
| 爐膛尺寸 | 440*390*330 | 780*390*330 | ||||||
| 爐管 | 剛玉管 | |||||||
| 爐管尺寸 | φ50*1000 | φ60*1000 | φ80*1000 | φ100*1000 | φ60*1200 | φ80*1200 | φ100*1200 | |
| 加熱器 | 硅鉬棒 | |||||||
| 加熱功率 | 4KW | 4KW | 10KW | 10KW | ||||
| 斷熱層 | 雙層強(qiáng)制風(fēng)導(dǎo)流 | |||||||
| 控制器 | 控制器 | P：進(jìn)口程序控溫?cái)?shù)碼顯示； T：7寸彩色觸摸屏程序控溫 | ||||||
| 控制方式 | 使用微型電腦PID控制/ S型雙溫區(qū)單獨(dú)控溫 | |||||||
| 設(shè)定方式 | P：輕觸五按鍵動(dòng)作、數(shù)顯設(shè)定；T：手指觸摸輕點(diǎn)設(shè)定 | |||||||
| 顯示方式 | P：雙行LED數(shù)字顯示； T：彩色液晶屏顯示 | |||||||
| 定時(shí) | 0~999.9小時(shí) | |||||||
| 運(yùn)行功能 | 定值運(yùn)行、程序運(yùn)行 | |||||||
| 程序模式 | P：程序運(yùn)行、4條曲線、共40步；T：50步可調(diào)用儲(chǔ)存程序 | |||||||
| 傳感器 | S型熱電偶 | |||||||
| 附屬功能 | P：校正功能；T：校正功能、實(shí)時(shí)曲線記錄、U盤(pán)數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||||
| 安全裝置 | 過(guò)流漏電保護(hù)開(kāi)關(guān) | 過(guò)流保護(hù)開(kāi)關(guān) | ||||||
| 質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | 氣路數(shù)量 | 3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量） | ||||||
| 流量范圍 | 0-0500sccm（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)準(zhǔn) | |||||||
| 精度 | ±1%F.S | |||||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤4s | |||||||
| 工作溫度（流量計(jì)） | 5-45℃ | |||||||
| 工作壓力 | 進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa（表壓力） | |||||||
| 系統(tǒng)連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x | |||||||
| 中真空 | 系統(tǒng)真空范圍 | 10-100Pa | ||||||
| 控制系統(tǒng) | 真空泵 | 雙級(jí)機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/s，出氣口配有油污過(guò)濾器，額定電壓200V，功率0.55Kw | ||||||
| CVD系統(tǒng)配置 | 1600度真空管式爐（可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)）多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)真空系統(tǒng) | |||||||
環(huán)保在線