熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)，其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻（鉑RTD ），一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)這兩個(gè)RTD 被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫差，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計(jì)算的。氣體速率增加，傳感器傳遞給介質(zhì)的熱量增多，因此需要供給更多的功率，而電子單元加熱RTD 的功率與質(zhì)量流量成一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
熱式氣體流量計(jì)的優(yōu)勢(shì)
無須壓力溫度補(bǔ)償，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，組成簡(jiǎn)單，出現(xiàn)故障概率小 
量程比高（大于100：1） 
快速響應(yīng)，精度高 
靈敏度高，尤其適合于大管徑、低流速的流量測(cè)量 
現(xiàn)場(chǎng)顯示瞬時(shí)、信號(hào)輸出，上下限報(bào)警等 
結(jié)構(gòu)多樣，分插入式、管道式安裝，安裝靈活，裝卸方便，使用簡(jiǎn)便 
無活動(dòng)部件，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，抗振 
可應(yīng)用于高溫場(chǎng)合和腐蝕環(huán)境中