設備特點
此款CVD系統(tǒng)是由1200℃開啟式迷你真空管式爐、氣路系統(tǒng)和低真空機組組成。其特點是爐體小巧（凈重只有18Kg），升溫速度極快（Z快可達到100℃/分鐘），它不僅可以抽真空,也可以通氣體保護。其結構使得拆裝爐管方便、操作簡捷、使用者可直接將密封腔體移出爐體，加快降溫過程，透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結狀態(tài)。
加熱區(qū)參數(shù)
| 爐管尺寸：外徑Φ25/50*600mm (管徑可選) 加熱元件:電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 恒溫區(qū)長度: 80mm 工作溫度：1100℃ 推薦升溫速度：20℃/min Z快升溫速度：≤100℃/min 爐門結構：開啟式 額定功率：2KW 外型尺寸：350×290×345 mm 標準配件：石英管1根，不銹鋼密封法蘭1套，硅膠密封圈2套，氧化鋁管堵4只，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險1個。 密封系統(tǒng)：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭） 端口可按實際使用擴展。 |
氣路系統(tǒng)參數(shù)
| 質量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選） 準確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa Z大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù)
| 國產油泵型號：BSV-10 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機功率：0.4kw 進排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機轉速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數(shù)： 1.配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)， 2.測量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測量路數(shù)： 1路 4.控制范圍： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
環(huán)保在線