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當(dāng)前位置:重慶開衡科技有限公司>>cvd系統(tǒng)>> 迷你型CVD系統(tǒng)(型號:BTF-1200C-S-CVD) 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī)

迷你型CVD系統(tǒng)(型號:BTF-1200C-S-CVD) 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī)

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更新時間:2023-06-12 09:19:11瀏覽次數(shù):480次

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設(shè)備特點(diǎn)此款CVD系統(tǒng)是由1200℃開啟式迷你真空管式爐、氣路系統(tǒng)和低真空機(jī)組組成

設(shè)備特點(diǎn)

此款CVD系統(tǒng)是由1200℃開啟式迷你真空管式爐、氣路系統(tǒng)和低真空機(jī)組組成。其特點(diǎn)是爐體小巧(凈重只有18Kg),升溫速度極快(Z快可達(dá)到100℃/分鐘),它不僅可以抽真空,也可以通氣體保護(hù)。其結(jié)構(gòu)使得拆裝爐管方便、操作簡捷、使用者可直接將密封腔體移出爐體,加快降溫過程,透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結(jié)狀態(tài)。

加熱區(qū)參數(shù)

爐管尺寸:外徑Φ25/50*600mm (管徑可選)

加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)
加熱區(qū)長度:230mm

恒溫區(qū)長度: 80mm

工作溫度:1100℃
Z高溫度:1200℃
控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度:±1℃

推薦升溫速度:20℃/min

Z快升溫速度:≤100℃/min

爐門結(jié)構(gòu):開啟式
工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

額定功率:2KW

外型尺寸:350×290×345 mm

標(biāo)準(zhǔn)配件石英管1根,不銹鋼密封法蘭1套,硅膠密封圈2套,氧化鋁管堵4只,高溫手套1副,坩堝鉤1支小保險1個。

密封系統(tǒng):爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭)

端口可按實(shí)際使用擴(kuò)展。

氣路系統(tǒng)參數(shù)

質(zhì)量流量計(jì)參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可選)

準(zhǔn)確度:±1.5%

線性:±0.5~1.5%

重復(fù)精度:±0.2%

響應(yīng)時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

Z大壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥:Φ6

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

備注:可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。

低真空系統(tǒng)參數(shù)

國產(chǎn)油泵型號:BSV-10

抽速:10m3/h

極限真空度:5*10-1pa

電源:220v 50hz

電機(jī)功率:0.4kw

進(jìn)排氣連接口:KF25

用油量:1.1L

電機(jī)轉(zhuǎn)速:1440rpm

工作環(huán)境溫度:5-40℃

噪音:≤56db

電阻真空計(jì)參數(shù):

1.配用規(guī)管:ZJ-52T電阻規(guī),

2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.測量路數(shù): 1路

4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載,

6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功耗: 20W


連續(xù)進(jìn)出料可回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng) BTF-1200C-II-R-CVD 實(shí)驗(yàn)

1、主要特點(diǎn)該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn),有助于粉料的燒結(jié)更均勻,可大角度

滑軌式CVD系統(tǒng)(型號:BTF-1200C-SL-CVD) 實(shí)驗(yàn)室臭氧

設(shè)備特點(diǎn)此款設(shè)備是專為生長石墨烯研制的石墨烯薄膜生長專用爐,也同樣適用

國產(chǎn)高真空CVD系統(tǒng)(型號:BTF-1200C-II-CVD) 實(shí)驗(yàn)室

設(shè)備特點(diǎn)此套設(shè)備是由1200℃雙溫區(qū)開啟式管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)及低真

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