經(jīng)濟(jì)型、通過(guò)等離子化氣體的活性作用對(duì)處理對(duì)象表面進(jìn)行改質(zhì)、清洗
特點(diǎn)
● 經(jīng)濟(jì)型等離子清洗機(jī)。
● 簡(jiǎn)單的等離子處理操作。
● 無(wú)需高頻使用申請(qǐng)。

值得期待的應(yīng)用案例
<清洗>
● 有機(jī)膜的去除（油，蠟等有機(jī)膜）。
● 電子零件，光學(xué)零件和微小部件的清洗、電鍍、涂層前處理。
● 細(xì)菌的消毒等（通過(guò)氧自由基進(jìn)行細(xì)胞膜的蝕刻或通過(guò)紫外線進(jìn)行消毒）。
<表面改質(zhì)>
● 高分子材料表面的官能基付與→ 粘合性，密著性提高。通過(guò)氧化反應(yīng)，在表面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影響）；
● 電子零件，光學(xué)零件和微小部件的清洗、電鍍、涂層前處理。
● 細(xì)菌的消毒等（通過(guò)氧自由基進(jìn)行細(xì)胞膜的蝕刻或通過(guò)紫外線進(jìn)行消毒）。同樣，氮?dú)獾入x子時(shí)，表面吸取氮原子生成-NH2官能基。
● 提高各種聚合物的粘結(jié)性以及提高醫(yī)科齒科材料的生物相容性等。
● 通過(guò)處理培養(yǎng)皿可以在其上均勻涂抹培養(yǎng)基等。
<蝕刻>
● 有機(jī)高分子材料的蝕刻。對(duì)于有機(jī)高分子氧氣成為蝕刻氣體，可以進(jìn)行抗蝕劑的蝕刻。
● 促進(jìn)種子發(fā)芽等實(shí)驗(yàn)。

規(guī)格

型號(hào)	PM100
等離子發(fā)生源	低頻高電壓電源，輸出約100W，周波數(shù)60KHz、輸出電壓10kV
電機(jī)構(gòu)造	電容型 2分割
氣體流量計(jì)	氧氣用、流量30～300mL/min
真空調(diào)整閥門(mén)	抽真空用，回大氣用
反應(yīng)腔尺寸	內(nèi)徑100mm×深度約200mm
外形尺寸（寬×深×高mm）	310×300×448
電源 50/60Hz	AC100V 10A（含真空泵Max7A）
真空泵接口	外徑Φ6.35mm（推薦真空泵排氣速度30L/min）
氣體接口	外徑Φ6.35m