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氣體質(zhì)量流量控制器 (MFC)

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詳細(xì)介紹

類型描述

8710 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 尤其適用于腐蝕性氣體的質(zhì)量流量控制，這類氣體需要一個(gè)介質(zhì)隔離的傳感器。毛細(xì)管熱傳感器可以實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。8710 型設(shè)備可以針對(duì)兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口，既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，也提供現(xiàn)場(chǎng)總線。