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光學(xué)鍍膜機(jī)

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光學(xué)鍍膜機(jī)是指在光學(xué)零件表面涂覆一層（或多層）金屬（或介質(zhì)）薄膜的過程

詳細(xì)介紹

　　光學(xué)鍍膜機(jī)是指在光學(xué)零件表面涂覆一層（或多層）金屬（或介質(zhì)）薄膜的過程。光學(xué)零件表面涂層的目的是減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的涂層方法有真空涂層（一種物理涂層）和化學(xué)涂層。涂層的目的是改變材料表面的反射和透射特性。

　　光學(xué)鍍膜機(jī)在可見光和紅外波段，大多數(shù)金屬的反射率可達(dá)78%～98%，但不高于98%。無論是用銅、鉬、硅、鍺作反射鏡，還是用鍺、砷化鎵、硒化鋅作輸出窗口和傳輸光學(xué)元件材料，還是用普通光學(xué)玻璃作反射鏡、輸出鏡和傳輸光學(xué)元件材料，均不能達(dá)到要求。由于輸出鏡在不同的應(yīng)用場(chǎng)合有不同的透射率要求，因此需要采用光學(xué)鍍膜的方法。對(duì)于CO2激光燈的紅外波段，常用的涂層材料有氟化釔、氟化鐠、鍺等；對(duì)于YAG激光燈的近紅外波段或可見光帶，常用的涂層材料有硫化鋅、氟化鎂、、氧化鋯。等。除了高反射膜和減反射膜外，還可以涂上一層不一樣的膜，可以加強(qiáng)某一波長(zhǎng)的反射和另一波長(zhǎng)的透射，如激光倍頻技術(shù)中的光譜膜。光干涉在薄膜光學(xué)中的應(yīng)用。光學(xué)薄膜技術(shù)常用的方法是在玻璃基片上真空濺射鍍膜，一般用來控制基片入射光束的反射率和透射率，以達(dá)到不同的需要。為了消掉光學(xué)元件表面的反射損耗，提高成像質(zhì)量，在光學(xué)元件表面涂覆一層或多層透明介質(zhì)膜，稱為減反射膜。隨著激光技術(shù)的發(fā)展，對(duì)薄膜的反射率和透射率提出了不同的要求，促使了多層高反射膜和寬帶減反射膜的發(fā)展。在許多應(yīng)用中，偏光反射膜、彩色光譜膜、冷光膜和干涉濾光片都是用高反射膜制作的。
　　光學(xué)鍍膜機(jī)在光學(xué)零件表面涂層后，光在薄膜層上多次反射和透射，形成多光束干涉。控制薄膜的折射率和厚度，可以得到不同的光強(qiáng)分布，這是干涉鍍膜的基本原理。光學(xué)薄膜是在高真空度的鍍膜腔中實(shí)現(xiàn)的。傳統(tǒng)的鍍膜工藝要求提高基體溫度（通常在300℃左右），而離子輔助沉積（iad）等工藝可以在室溫下進(jìn)行。

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