污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
深圳市東信高科自動化設(shè)備有限公司
深圳市東信高科自動化設(shè)備有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號TS-PL15MA
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
聯(lián)系方式：李經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時間：2022-11-26 18:17:18瀏覽次數(shù)：166次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品介紹 TS-PL15MA/P晶圓刻蝕機高配版1.真空腔規(guī)格:材質(zhì)316不銹鋼L270mm*W280mm*H200mm2.電極：平板氣浴電極
TS-PL15MA/P 晶圓刻蝕機高配版
1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3. 電極尺寸：230mm *230mm（可處理產(chǎn)品尺寸，可處理8寸晶圓）
4. 頻率：13.56MHz
5. 功率：0-300W連續(xù)可調(diào)，可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)。
6. 氣體控制：MFC質(zhì)量流量計， 0-500ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)（SMC）
8. 控制方式：7寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸：長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置：配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調(diào)整，可按需求調(diào)整極板位置
TS-PL15MA 晶圓刻蝕機標(biāo)準(zhǔn)版
1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3. 電極尺寸：230mm *230mm（可處理產(chǎn)品尺寸，可處理8寸晶圓）
4. 頻率：13.56MHz
5. 功率：0-300W連續(xù)可調(diào)，可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)。
6. 氣體控制：精密針閥式浮子流量計， 0-1000ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)（SMC）
8. 控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸：長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置：配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調(diào)整，可按需求調(diào)整極板位置
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
環(huán)保在線 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
