YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)PR500/510 PR500 / 510是廣泛用于這種應(yīng)用，生產(chǎn)半導(dǎo)體和分析工作的氣體等離子體裝置。它擁有出色的可操作性和安全性，具有自動(dòng)調(diào)諧系統(tǒng)作為標(biāo)準(zhǔn)組件及其他功

詳細(xì)介紹

YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)PR500/510
PR500 / 510是廣泛用于這種應(yīng)用，生產(chǎn)半導(dǎo)體和分析工作的氣體等離子體裝置。它擁有出色的可操作性和安全性，具有自動(dòng)調(diào)諧系統(tǒng)作為標(biāo)準(zhǔn)組件及其他功能。
YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)PR500/510
YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)特點(diǎn)：
• 它具有一個(gè)緊湊的設(shè)計(jì)，具有小尺寸的高頻發(fā)生器和一個(gè)振蕩部分集成在一起的腔室的一部分。
• 隨著直徑215毫米大口徑室，單位可以處理大的測試樣品。

YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)產(chǎn)品規(guī)格:

產(chǎn)品規(guī)格

模型	PR500	PR510
法	桶型直等離子
控制部分
高頻輸出	max 500W
振蕩頻率	13.56 MHz
輸出阻抗	50Ω
調(diào)整方法	自動(dòng)調(diào)諧
儀器	輸出功率表（0?600W）反射波功率表（0?300W）真空壓力表，熱電偶式流量計(jì)，針型閥集成型，2臺(tái)
定時(shí)器	0.1秒。到999H
進(jìn)氣口	1/4“不銹鋼，2入口
電源（50 / 60Hz）	AC 100 / 220V，單相，2千伏安
反應(yīng)部分
反應(yīng)室	石英制成的，φ215×305毫米
電極結(jié)構(gòu)	聚光型，四分割
控制系統(tǒng)	自動(dòng)減壓，自動(dòng)閥泄漏	觸摸屏與PLC控制
配管材料	SUS，鐵弗龍
外形尺寸（W×D×嗯）	438×520×760	520×630×760
重量	約38千克	約60公斤
YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配件
連接電纜：1配套真空潤滑脂：1件 O形圈的反應(yīng)室：1件。
YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)可選配件
幀的晶片，2，3，4，5，6英寸多用途傾斜的框架鋁蝕刻隧道，架