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高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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更新時間：2023-06-17 16:30:01瀏覽次數(shù)：181次

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束倫（上海）技術(shù)服務(wù)有限公司

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產(chǎn)品簡介

性能指標電鏡分辨率:1.5nm@15kV

詳細介紹

性能指標

電鏡分辨率: 1.5nm @ 15kV；2.0nm @ 10kV；3.0nm @ 5kV
加速電壓: 500V～30kV
束流大小: 20nA
電鏡物鏡模式: 磁浸入模式UHR、無磁場模式HR
電鏡檢測器: 高真空二次電子檢測器(SE)、極靴內(nèi)二次電子檢測器(TLD)、極靴內(nèi)背散射電子檢測器(TLD-B)、四分固體式背散射電子探測器(BSE)、樣品室紅外CCD探測器
能譜分辨率: 129eV(Mn Kα) 能譜元素檢測范圍: B5～U92

主要應(yīng)用

固體樣品的微觀形貌、結(jié)構(gòu)，樣品的微區(qū)元素成份及線分布、面分布，廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、材料、物理、生物、化學、熱能、地球科學、環(huán)境、光電子等領(lǐng)域。
粉末、微粒樣品形態(tài)的測定金屬、陶瓷、礦物、水泥、半導體、紙張、塑料、食品、農(nóng)作物、細胞等材料的顯微形貌分析復合材料界面特性的研究材料中元素定性分析、定量分析、線分析、面分析材料及電子器件失效分析

樣品要求

儀器說明

儀器名稱：高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡硅漂移探測器能譜儀 Field-emission Scanning Electron Microscopy & Energy Dispersive Spectrometer
儀器型號：Sirion 200 (SEM)& INCA X-Act (EDS) 儀器縮寫：SEM
生產(chǎn)廠家：美國FEI公司& 英國Oxford公司
安裝日期：2005年
關(guān)鍵詞：掃描電鏡 SEM 能譜儀 EDS 微觀形貌表面形貌元素成分元素分布
儀器簡介： Sirion 200型掃描電子顯微鏡具有超高分辨率，該儀器能實現(xiàn)對各種固態(tài)樣品表面形貌的觀察，獲得表面形貌的二次電子像、背散射電子像。
該儀器配備的x射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定性、半定量分析。