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行業(yè)產(chǎn)品

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輔光精密儀器(上海)有限公司


離子濺射儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間:2023-11-11 11:34:22瀏覽次數(shù):357次

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產(chǎn)品簡介

離子濺射儀是為電鏡制樣設計的離子濺射噴金儀,實現(xiàn)離子在樣品表面濺射,形成金屬薄膜

詳細介紹

離子濺射儀是為電鏡制樣設計的離子濺射噴金儀,實現(xiàn)離子在樣品表面濺射,形成金屬薄膜。
當需要使用掃描電子顯微鏡(SEM)分析圖像或成分時,由于非導電物體的充電現(xiàn)象會導致圖像失真,使正常測量變得困難。由于電子束在非導電樣品表面積聚帶電粒子,導致圖像失真,因此必須進行濺射(涂層)工藝。

離子濺射儀特點

  1. 使用7英寸觸摸顯示屏進行方便的控制
    2.真空→ 自動涂層→ 一鍵式通風口控制
    3.庫:保存頻繁使用條件(zui多10個)
    4.樣品樁7根(Φ14㎜) 在室內(nèi)一起安裝
    5.防止樣品被低壓涂層損壞(1至10mA)
    6.通過緊湊的尺寸zui大限度地減少安裝空間

離子濺射儀規(guī)格參數(shù)

真空度:2.0 x 10-1Torr

離子電流:1-10mA

靶材: 純金或Pt

樣品腔尺寸:Φ140mm(D) x 100mm(H)

樣品臺:Φ50mm(D) x 30mm(H)              

靶材尺寸:Φ50mm(D)

濺射時間:1-600秒

真空泵:100L/min

尺寸:Main : 380(W)x240(D)x250(H)mm, 10kg

供電要求:110~220VAC ±10%, 50/60Hz


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