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成都??藘x器有限公司
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產(chǎn)品型號DH500JJC
品 牌
廠商性質(zhì)其他
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更新時間:2022-11-14 16:34:23瀏覽次數(shù):203次
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DH500JJC多靶磁控濺射鍍膜機主要用于科研實驗,可制備納米級和微米級的單層及多層工能膜-各種硬質(zhì)膜,光學膜,金屬膜,鐵磁薄膜,半導體膜,介質(zhì)膜和氧化物薄膜等多種薄膜。DH500JJC多靶磁控濺射鍍膜機為前開門式設(shè)計,功能強,鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定,重復性好,操作簡便。DH500JJC磁控濺射鍍膜機.DH500JJC磁控濺射鍍膜機.DH500JJC多靶磁控濺射鍍膜機.多靶磁控濺射鍍膜機
DH500JJC多靶磁控濺射鍍膜機
DH500JJC多靶磁控濺射鍍膜機主要用于科研實驗,可制備納米級和微米級的單層及多層工能膜-各種硬質(zhì)膜,光學膜,金屬膜,鐵磁薄膜,半導體膜,介質(zhì)膜和氧化物薄膜等多種薄膜。
該鍍膜機為前開門式設(shè)計,功能強,鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定,重復性好,操作簡便。真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304不繡鋼材料制造,工藝規(guī)范,精致,保證了材料的成膜純度。
采用分子泵+直聯(lián)機械泵機組,具有抽速快,無油,操作方便快捷,易于維護的特點。
◆ 鍍膜方式:可實現(xiàn)多靶共濺模式
◆ 磁控靶:圓柱/平面靶;
◆ 進氣系統(tǒng):三路質(zhì)量流量計;
◆ 鍍膜室體積:500×500×600mm3
◆ 極限真空度:6.7×10-5Pa; 恢復真空度:從大氣抽到6.7×10-4Pa;﹝40分鐘﹞
◆ 真空抽氣系統(tǒng):機械泵與分子泵組成;
◆ 真空測量系統(tǒng):數(shù)顯復合真空計;
◆ 工作電源:真流電源500W;射頻電源500W﹝13.56MHz﹞;加熱控溫電源;
◆ 工作烘烤溫度:室溫~800℃可控可調(diào)﹝PID控溫﹞;
◆ 選配件:石英晶振測厚儀,冷卻水機組等;
◆ 供電電源:三相AC380V,50Hz
◆ 特殊規(guī)格可定制。
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