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GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

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更新時(shí)間：2022-11-08 15:46:32瀏覽次數(shù)：316次

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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜

詳細(xì)介紹

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜。

功能特點(diǎn)

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
工作臺	尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風(fēng)裝置	不需要
電源	220V
總功率	<2000W（包括真空泵）
真空室	?160mm×120mm
樣品臺	?50mm，且高度可調(diào)，可同時(shí)進(jìn)行8個(gè)SEM樣品的鍍膜
均勻鍍膜	?45mm
尺寸	400mm×300mm×400mm
重量	30kg
可選配件	金、銦、銀、鉑等各種靶材
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	金靶材	1個(gè)
	2	進(jìn)氣針閥	1個(gè)
	3	保險(xiǎn)絲	2個(gè)